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微切片技术在FPC失效分析中的应用 曹华钢 黄海 杨福平 Arthur N (苏州维信电子有限公司，江苏省苏州市吴中区南湖路68号, 215128) 摘要：许多FPC失效问题需要通过微切片分析技术来找到根本原因，本文主要介绍了在FPC 失效分析过程中，对25微米粒径左右的微米级切片目标，采用新的 “双针定位”的方式，实 现高精度微切片制作的方法，以及运用此微切片方法完成FPC失效分析的4个典型实际案例。 关键词: 微切片 FPC 失效分析 双针定位 一、 前言 微切片(Microsectioning, 又有译为:Cross section)起初应用于钢铁工业的金相学研 究，它是一门技术,也是一门科学,在技艺高超的人手中可以获得用任何其他分析方法不能得 1 到的有关结构和界面特征方面的信息 。微切片的实质是：制备供样品观察和分析用的典型截 1 面，并且不留下人工痕迹和非真实结构 。如图1和图2,是用于制备（锡膏印刷用）钢网的 两种0.1mm厚度的不锈钢片,经过切片和微蚀后，在500倍金相显微镜下观察比较它们之间晶