晶格匹配氮化镓和氧化锌基外延薄膜衬底材料ScAlMgO4晶体生长研究.pdfVIP

维普资讯 第36卷 第3期 人 工 晶 体 学 报 Vol_36 No．3 2007年 6月 JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS June．2007 晶格匹配氮化镓和氧化锌基外延薄膜衬底材料 ScAIMgO4晶体生长研究 唐慧丽 ，董永军 ，徐 军 ，赵志伟 ，吴 锋 ，邹 军 ，周国清 (1．中国科学院上海光学精密机械研究所，上海201800；2．中国科学院研究生院，北京 100039) 摘要：采用提拉法成功生长了氮化镓和氧化锌基外延薄膜晶格匹配的ScA1MgO单晶衬底材料，晶体呈透明白色， 尺寸为~30mm×59ram，表面部分沿解理面有裂纹。粉末 x射线衍射 (XRD)分析表明经 1400~C固相反应烧结的原 料基本合成了ScAIMg04多晶相。初步的偏光显微镜观察、晶体的粉末 XRD表征、透过光谱和双晶摇摆测试表明 晶体具有较好的光学性质和结晶质量。研究表明晶体本身的层状结构、较大的温度梯度和热应力的不均匀性是生 长过程中引起晶体开裂的几个主要原因。 关键词：ScA1MgO 晶体；衬底；晶格匹配；晶体生长；提拉法 中图分类号：0782 文献标识码：A 文章编号：1000-985X(2007)03-0612-05 StudyontheGrowthofLattice-matchedScAIM gO4Substratesfor GaN andZnO-basedFilm Epitaxy TANGHui．1i ，DONGYong-jun，XUJun，ZHAOZhi．wei，WUFeng，ZOUJun ，ZHOUGuo—qing (1．ShanghaiInstituteofOpticsandFineMechnaics，CMne~AcademyofSciences，Shnahgai201800，China； 2．GraduateSchooloftheChineseAcademyofSciences，Beijing100039，China) (Received11November2006，accepted30January2007) Abstract：A transparentwhiteScA1MgO4crystalused aslattice—matched substrateforGaN andZnO epitaxial film hasbeengrownbyCzochralskimethod．Theas—growncrystalbouleswereaboutqb3Omm × 59mm indimension andcracked slightlyalong cleavagephne ．With theXRD pattern ofsinteredraw analysis ，itisconfirmed thatsolid—state reaction sintering at1400~C ScA1MgO4polycrystalphase preliminarilysynthesized．Polarizingmicroscopy，XRD pattern ，transmissionspectrum na dX—rayrocking curvechraacterizationindicatehteas—grown crystal isoffinecrystallineandopticalproperty ．Studies show thatthecrackingphenomenaoftheScA1MgO4crystalsoccurredduri