先进制造技术-3精密与超精密加工技术.pptVIP

（1）超精密加工刀具 （2）超精密加工设备 ELID修整方法中，砂轮在工作中接正电极，安装在机床上的修整电极为负电极，通过砂轮与电极之间浇注的电解液进行电化学作用在线修整砂轮，使砂轮保持锋利。 精密与超精密加工技术 大森整使用ELID方法加工光学玻璃非球面透镜，精度达到0.2μm，表面粗糙度Ra达20 nm。 砂轮的修整用量对超精密磨削质量也有一定的影响。修整参数包括：修整导程、修整切深、修整次数以及光修次数。 精密与超精密加工技术 3) 磨削用量对超精密磨削表面的影响（包括砂轮速度、工作台速度、磨削深度） 精密与超精密加工技术 砂轮速度对磨削表面粗糙度无显著影响。但速度增加，机床振动变大，对工件加工不利。 工作台速度对磨削表面质量影响很大，应选用低一点的工作台速度。 磨削深度不能过大，一般小于0.003mm。 4) 光磨次数的影响 5) 冷却润滑液的影响 精密与超精密加工技术 6、3 超精密研磨、抛光 研磨和抛光利用研磨剂使工件和研具之间通过相对复杂的轨迹而获得高质量、高精度的加工方法。 通常，研磨为次终加工工序，将平面度降低至数微米以下，并去前道工序(通常为磨削)产生的损伤层。抛光是目前主要的终加工手段，目的是降低表面粗糙度并去除研磨形成的损伤层，获得光滑、无损伤的加工表面。抛光过程中材料去除量十分微小，约为几个微米。 6、3、1 研磨加工的机制和特点 通常使用尺寸为几个um至十几um大小的氧化铝和碳化硅做研磨剂（磨料），铸铁等硬质材料做研具。 精密与超精密加工技术 精密与超精密加工技术 6、3、2 抛光加工的机制与特点 通常使用1um以下的微细磨粒，而抛光器则需要使用沥青、石蜡、合成树脂、人造革、特富隆等软制材料制成。 超精密研磨（抛光）通常选用粒度大小只有几个或几十个纳米的研磨微粒，对加工表面进行长时间的研磨以达到极高表面质量，超精密研磨机床的要求很高。 弹性发射研磨抛光加工 弹性发射加工 (Elastic EmissioMachining,EEM)是一种新的“原子级尺寸加工方法”。EEM使用软(在微小压力下很容易发生变形)的聚亚胺酯球作为抛光工具(研磨工具)，同时控制旋转轴与加工工件的接触线保持在45°角。抛光时,垂直工件方向施加载荷，并且保持载荷是1个常量。EEM采用亚微米（纳米）尺寸微粉（氧化锆）,微粉与水混合。通过强迫微粉在旋转的聚亚胺酯球表面下方与工件间距近似1μm（也就是大于研磨微粉尺寸)加工工件。 弹性发射加工研磨抛光 磁力研磨抛光 磁力研磨抛光是利用磁场作用进行研磨加工的新方法，它能高效、快速地对各种材料、尺寸和结构的零件进行超精密加工，是一种投资少、效率高、用途广、质量好的研磨加工方法。 磁力研磨抛光 化学机械－研磨抛光（CMP) 化学机械抛光分为干式和湿式抛光两种。干式抛光是报道较多的用于加工蓝宝石材料的抛光方法。湿式抛光法已被世界上广泛接受为一种加工半导体硅片的标准方法。 化学机械－研磨抛光（CMP) 化学－机械研磨抛光 粗研 精研 粗抛 精抛(CMP) 化学－机械研磨抛光 水合研磨抛光是一种积极利用在工件临界面上生成水合化反应的研磨抛光方法。其主要特点是不使用磨粒和加工液，而加工装置又与目前使用的研磨盘或抛光机相似，只是在水蒸汽环境中进行加工。为此，要尽量避免使用能与工件产生固相反应的材料抛光盘。 水合研磨抛光 水合研磨抛光 * 先进制造技术之四 精密与超精密加工技术 山东理工大学 精密模具省重点实验室 黄雪梅 1、超精密加工技术概述 2、超精密加工技术的发展历程 3、超精密加工的范畴 4、超精密加工的主要研究领域 5、超精密加工的主要方法 6、超精密加工的发展趋势 精密与超精密加工技术 精密与超精密加工技术是适应现代技术发展的一种机械加工新工艺。目前成为衡量现代制造技术水平的重要指标之一，是现代制造技术中最活跃的因素,已成为一个国家制造技术水平的主体。 精密与超精密加工技术 1、概述 美国的NNI(National nanotechnologyinitiative)纳米计划 英国的多学科纳米研究合作计划IRC(Interdisciplinary research collaboration in nanote-chnology)， 日本的纳米技术支撑计划 世界发达国家均予以高度重视。最近启动的研究 计划包括 ： 精密与超精密加工技术 精密与超精密加工是指加工精度和表面质量达到极高程度的精密加工工艺