着眼于虚拟基准EST研究.pdf

海交通犬学博：t论文 着眼于虚拟基准的EST研究 摘要 虚拟量仪(Virtual InstmmenI)技术在机械零件形 Gauge)足虚拟仪器(VirnJal Datum) 状误差或加工机床／测量机运动误差检测领域的延伸，虚拟基准(Virtual 建模技术是綦于误差分离技术(EST)的虚拟量仪测试系统的关键技术之一。以权 函数为表征的误差分离系统的传递特性对零件形状误差的测量和分离精度有着极 为重要的影响，它是由各测量传感器的性质和测试系统结构参数决定的。因此本文 首次提出了临床测量和分离圆度、直线度和圆柱度等形状误差的虚拟基准定义及其 建模方法，提出了着眼于虚拟基准的误差分离技术——三平行传感器法(或简称“平 行三点法”)。将虚拟基准建模方法和平行三点法成功应用于圊度、直线度和圆柱度 等形状误差的测量。并开发了EST系统结构参数设计和权函数计算软件。 作者通过阅读大量国内外相关文献，总结了虚拟量仪的概念、分类和系统构成， 分*Ji-T虚拟基准的含义，分析论证了虚拟量仪与虚拟基准、虚拟基准与误差分离技 术之间的相互关系。指出，虚拟基准是虚拟量仪软件系统的关键：以被测对象本身 为物理实体暴准进行零件形状误差测量的误差分离技术是形成虚拟基准、实现虚拟 量仪的有效1[具。 在研究各神圆度、直线度、螺纹(丝杠)导程误差、齿轮误差、圆柱度和平面 度等一维和多维误差分离方法的基础上，给出了各种方法传感器配置的结构参数与 权函数的关系式。并根据一维和多维误差分离技术的统一理论，较系统地讨论了它 们内在的统一性：反滤波本质的统一，时域与频域的统一，一维和多维误差分离技 术的统～，线位移与角位移传感器的统一，可分离准则的统～，误差分离不完全性 的统一。 作为本文的重点研究内容，作者建立了圆度、直线度和圆柱度误差测量、分离 和重构的虚拟基准的数学模型，它们具有高柔性的特点，可以部分或全部替代传统 测最方法-巾使用的标准球或标准圆柱体等物理实体基准件。在此基础上，提出并实 现了平行三点法误差分离技术，用于圆度和圆柱度形状误差的测量、分离和重构。 并对暖方法测试系统的结构参数、工件的安装误差和传感器误差等误差因素对测量 L海交通人学搏l‘论义 精度的影响进行了系统的分析，在频域上定量分析了各种冈素对平行三点法测量精 度的影响，给出了洪差传播方程，并讨论了消除或减小上述误差的措施。平行三点 法将定位传感器的圆基准和角分度基准更换为高精度机床或测量机的直线基准和 平行轴之问的尺寸基准，可以方便地利用机床／N量机本身的机构调整测量架与工 件之间的相对位置，从而部分地解决了虚拟量仪系统中测量装置对传感器精密定位 的高柔性要求。 以Windows2000为开发平台，以VisualBasic6．0为开发工具，开发了EST结 构参数设计和权函数计算软件，基本函盖了国内外现有的大多数一维和多维误差分 离方法的权函数的分析计算，据此以获得合适的传感器配置参数。它可以作为虚拟 量仪的一个应用软件模块。并应用MatLab5．3编写了圆度、圆柱度和直线度误差分 离和重构的数据处理软件。 在MGl342B高精度外圆磨床上对一典型的圆柱型零件的圆度、母线直线度、 圆柱度等形状误差进行了测量、分离和重构；对工作台在水平、垂直两个方向上的 卣行误差运动进行了测量和分离，并对测量结果进行了对比分析。实际测量结果充 分验证了虚拟基准数学模型和平行三点法误差分离技术的正确性、有效性，为建立 真证意义上的虚拟量仪测量系统奠定了基础。 关键词：虚拟基准．误差分离技术，平行二点法，权函数，虚拟量仪，统一理论 ．|：塑垄望查堂壁主丝苎 一， ONERRORSEPARATIONFOR VIRTUAL TECHNIQUE DATU