表面波等离子体内表面波的模式变换和SiO2PET薄膜淀积的研究.pdfVIP

中国科学院等离子体物理研究所硕7t}iLl-Z 摘要 (mv等离子体处理领域对等离子体直径要求的增加，利用大体积表面波等离 子体的等离子体源的研究开发得到了迅速开展。但在表面波等离子体的作用机制 方面还有许多不清楚的地方，现己成为一个热门课题。本人的论文工作就是围绕 这一点展开的。内容可以下几个方面于: 1介绍了表面波等离子体的概念，综述了国内外表面波等离子体源的研究、 发展现状及其优点。 2.对原环形波导狭缝天线表面波等离子体源进行了很多改善，使其成功地 产生了柱状大体积等离子体师30),所得等离子体的各项参数都得到了明显的优 化。扭波源(2450MHz)的功率为OOW‘--l000W，运行气压20-70Pa范围内， 电子温度在lev左右，氢等离子体的离子密度最高为4.7X10cm3。在气压为 10-100Pa,微波功率为1000W,等离子体的直径为20cm范围内，其不均匀性不 超过3%4 3.利用微波单探针测量了等离子体内微波场分布，并分析研究了其随气压 和功率的模式变换及其和实验中所发现的有趣的等离子体光发射之间的关系。多 种模式变换使等离子体的稳定性和等离子体参数随功率的渐变性很差，不利于等 离子体的应用。本论文提出了解决这一问题的方案。这一研究在国内还是第一次。 4.研究了等离子体在镀膜方面的应用。介绍了两种通过等离子体镀膜的途 径延长塑料瓶装饮料、化妆品等保质期的方法。一种是镀非晶碳膜，一种是镀二 氧化硅膜。并对第二种方法及原理作了详细论述。于 5.通过XPS分析测试，得到了二氧化硅膜:并且通过透氧测试，镀膜后与 镀膜前的PET膜对氧气的透过率减小2倍以上，充分证实了在PET膜表面淀积 Si02膜可以提高其阻氧性能。 关键词:表面波等离子体,f表面波场分彩表面波模式变换等离子体光 发射现象 无定形碳薄膜淀积V二氧化硅薄膜淀积 XPS透氧性测试 型翌燮燮丝孟三丝些些些竺生主一一— 一一一-一一一一一一一 Abstract Withtherequirementonlargerdiameterplasmainplasmaprocessing,research onthemechanismandapplicationoflargevolumesurfaceplasmasourcehasbeen developedquickly.Whiletherearestillmanyproblemsontheactivemechanismof surfaceplasmaarewaitingtobesolved,whichhasbeeninterestingmoreandmore researchers.Thecontentofthisdissertationisconcentratedonthispoint.Themajor resultsofmyresearchislistedasfollows: 1.Theconceptionofsurfaceplasmaisgiven.Thestudy,developmentand advantagesofsurfaceplasmasourcearesummarized. 2.Wemademanyimprovementsontheprevioussurfacewaveplasmasource. Aftertheseimprovements,thecylindricallargevolume((}30)plasmawasproduced andtheparametersofplasmaweregreatlyoptimized.Theplasmaisproducedwitha microwave(2450MHz)powerof40OW-1000W andapressureof20-70Pa.The electrictemperatureobtainedisabout1.4evandtheiondensityofargonplasmais about4.7Xl0cm3.Underapressureof10-100Paandamicrowavepowerof 1000W,thenonhomogeneityofiondensityisnomorethan3%withinadiameter 20cm. 3.Themicrowavedistributioninplasmawasmeasuredbysinglemicrowave probe.Sev