纳米分辨率微振动实时干涉测量技术的研究.pdfVIP

摘 要 纳米分辨率微振动实时干涉测量技术的研究 宋松 导师:王向朝 研究员 摘 要 、光学干涉测量是一种重要的非接触式无损测量技术，它的主要特点是高精 度、高灵敏度、结构简单、稳定性好及易于实现等，因而得到了广泛的应用。 其中，对物体的微振动实现纳米分辨率实时测量在MEMS技术等领域有着重要 的意义。目前常用的一些光学干涉实时测量方法存在着难于实现纳米分辨率测 量、结构相对复杂等问铡 本论文以正弦相位调制技术为基础，提出了半导体 / 激光正弦相位调制实时干涉测量技术。辱一般的正弦相位调制干涉仪中，干涉 信号中引入了一个正弦调制的相位项，进行傅里叶分析后得到物体的位移，由 于需要用计算机处理数据，不能实现实时测量夕本论文所提出的实验方案中， 对半导体激光器直接输入正弦调制电流，对干涉信号的相位进行调制。利用电 路从干涉信号中获得与被测物体位移相关的相位变化，从而实时得到物体的位 移，分辨率达到纳米。首先提出一种开环式半导体激光微振动实时干涉测量系 统，该系统结构紧凑简单，但是随着微振动振幅的增加，测量误差变大。同步 相位检测式测量系统克服了此缺点，但是测量范围较小。反馈式测量系统可以 大幅度增加测量范围，而且大大降低了外界干扰造成的测量误差。文中给出了 这三种测量系统的原理、实验装置以及实验结果，对造成测量误差的原因进行 了分析。 关键词:实时测量 千涉仪 半导体激光器 正弦相位调制 Abstract Studyonreal-timeinterferometricmeasurementsofminute vibrationwithananometerresolution SongSong DirectedBy:ProfXiangzhaoWang Abstract Opticalinterferometryisanimportantmethodfornoncontactandnondestructive measurements,whichiseasytoberealizedandwidelyused.Ithasmanyadvantages: highaccuracy,highsensitivity,simplicityinconstruction,stabilization,andsoon. Real-timemeasurementsofminutevibrationwithananometerresolutionarevery importantinmanyregions,suchasmicro-electromechanicalsystemandinformation technology.Thereal-timeinterferometricmeasurementtechniquesreportedbefore havethedisadvantagesoflowresolutionandrelativelycomplicateconstruction. Basedonsinusoidalphase-modulating(SPM)interferometry,alaserdiode(LD)real- timeinterferometryformeasurementofminutevibrationwithananometerresolution isdevelopedinthispaper.InaSPMinterferometer,sinusoidalmodulating-phaseis introducedininterferencesignal.Ittakestimetoobtaintheobjectsdisplacement becauseitisnecessarytocalculateaFouriertransformoftheinterferencesigna