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中文摘要
f中频波段表面轮廓功率谱密度(PsD)的干涉测试是1995年以来在干涉计量测
试领域的一个国际上学术界热衷研究的新课题夕本文理论分析结合实验全面研究
了中频波段PSD的有关理论、PSD对光学系统象质的影响、PSD的干涉测试和
仪器标定原理，文中给出了有关实验数据和曲线。
，7本文从表面轮廓数据出发，完成建立PSD的计算模型，分析其物理含义、
最新国际标准，提出使用PSD对光学元件表面的评价方法；使用光学传递函数、
点扩散函数和圆内能量(Encircledenergy)描述光学表面散射，研究了中频波段波
面误差对光学系统象质的影响。得出了中频波段波面误差引起光能小角散射，严
重降低光学系统成象分辨率的结论：研究了测试中频波段PSD对干涉仪光学系统
各部件的要求，提出了干涉仪频率响应函数的概念，系统分析了干涉仪频率响应
的各影响因素，研究了干涉场杂纹对波面测量误差的影响及其消除方法；提出了
两平板形成频率可调的正弦位相光栅波面，用于对干涉仪频率响应函数的标定测
试方法，并结合实验完成对实际移相式干涉仪的频率响应标定测量，分析了该标
定方法的各种误差源；探讨了台阶样品标定干涉仪频率响应函数的可行性，创造
性地提出了实际台阶用于标定干涉仪频率响应函数必须满足的两个条件，并深入
分析了各种误差源。)
，
关键词： 功率谱密度，光学波面，干涉测试，象质评价
ABSTRACT
test density)foroptical
spectral
Thejnteferometric PSD(power
ofmid．frequency
1 inthefieldof
andrisenfrom995
isanew fordiscussion
surfaces question
on
this of effect
with PSD，its image
measurement theory
interferometry．Inpaper，the
fundamental
a calibration
ofitwith
of systems，test interferometer,and
qualityoptical
and0liNeSalso
been done．The data
a have
forinterferometer experiment
systemically
have
given．
is andthe
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