04宋春艳——降低PECVD工序产生的不良.pptVIP

 降低PECVD工序产生的不良 部门：生产制造部 组长：孟小龙 小组成员：杜延朝、宋春燕、姚立彬、李刚、高东岗 日期：2010.07.05 目录 1、小组信息 2、问题定义/ 改善主题和目标设定 3、现状分析 4、真因分析及验证 5、对策拟定与实施 6、效果确认 7、持续改善及效果评估 8、防止再发、标准化与认知 9、残余及潜在问题 1、小组信息 组名：PE之星 组长： 孟小龙 小组成员：杜延朝、宋春燕、姚立彬、李刚、高东岗。 小组目标：将PE碎片率降低到0.13%以内，PE崩边降低到0.02%。 部门：生产制造部 起止日期：2010.4.14-2010.6.25 2. 问题定义/ 改善主题和目标设定 问题描述及目标： 分类 描述 问题描述 PE会产成大量碎片和隐裂，到丝印第一道就会形成碎片导致丝印碎片率升高，后检测同样产生大量的PE崩边影响整体合格率。 现状 三月份碎片率0.35%，崩边率0.14%，与目标碎片率0.13%、崩边率0.02%差距很大。 目标 六月份结束要达到碎片率降到0.13%，PE崩边降低到0.02%。 差距 达到理想碎片还需要降低0.22%，崩边率降低0.11% 2. 问题定义/ 改善主题和目标设定 问题定义：5W2H分析 所要改善主题的描述（5W2H） What？ 降低PECVD工序产生的不良 Who？ 组长：孟小龙。组员：杜延朝、