超高真空金属密封圈的制造工艺与密封性能研究.pdfVIP

J符封性能研究 趟扁真空金属密封斟的制造T艺5 摘要 本论文的研究内容包括两个部分：一部分是关于银丝密封圈的密封性能，另一邪 分是关于一种超高真空阀门密封圈的密封性能。 银丝密封圈常被用于在超高真空系统中。但冷拔成形的银丝硬度高，用于真空密 封时即使施加很大的密封力，也不易达到好的密封效果。而对于如何通过热处理的办 法改善银丝的密封性能，目前还没有相关资料。为了找出密封用银丝的最佳热处理工 艺，本文对此进行了研究。 首先通过实验得出冷拔成形银丝的热处理工艺与其硬度的关系；然后选择几种典 型的热处理工艺(对应几种典型的硬度数值)，以这几种工艺分别处理几组由冷拔银 丝制造的密封圈；再用这几组密封圈进行密封性能实验，分析结果得出密封用银丝的 最佳处理工艺，文中这一最佳工艺为380℃保温后空冷。最后结合金相对此结果作出 微观的解释。 对于超高真空系统中的阀门而言，保证其良好密封性能是首要追求的。本文的第 二部分对一种全金属阀门展开研究，该阀门不仅密封性能好，重复使用次数也高。研 究的目的是制造出漏率合乎要求的阀门密封圈，为修复损坏的阀门找到办法。 首先分析阀门结构，重点分析阀门中两个金属弹性密封圈；然后将自己加工的这 两穆密封圈分别装配裂阀门上测量漏率，并与原装阀门进行比较；由于加工的密封圈 密封性能并未达到预期要求，故对其展开分析，从表面粗糙度、硬度、表面镀层和材 料状态等方面与原阀密封圈对比，找出最大的可能原因。 关键词：超高真空，银丝，密封圈，阀门，密封性能 超高真空舍属密封嘲的制造T艺与售封陀能{l=lI究 Abstract are is the Theretwo inthisthesis：one about talking sealing parts part property wire valve isthe oftheUHV ofsilver other gasket．the sealing gasket． property wire Silver isoftenusedjnUHV thehard—drawnsilver sealing system．Buf effect wireis hard．Itisnot to ideal evenifthe forceis very easyget sealing sealing itisusedinvacuum isnotcorrelativeinformation very large．when sealing．There how about its heattreatmentnow．TofindoutIhe improvesealingpropertythrough besttreatmenttechnicsofit．weresearchthesilverwire