功能TiO2薄膜材料的制备及其性能研究论文.doc

南京航空航天大学硕士学位论文  摘  要  近年来， TiO2 材料因其在光催化、气敏、光电等领域有广泛的应用，引起了众多学者的关注。 由于 TiO2 薄膜材料的结构及吸收边缘对其光催化性能有重要的影响，故作者主要从薄膜结构和光 学性能两方面开展研究。 作者采用脉冲激光沉积(PLD)方法，在硅衬底和石英衬底上制备了 TiO2 薄膜。然后利用 X 射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜（AFM）和紫外可见光光度计对 TiO2 薄膜的结构和性质进行 了研究。试验结果表明，退火温度对薄膜的结构有显著的影响，经 300℃退火后薄膜保持非晶 状态，经 500℃退火后的薄膜形成结晶较好锐钛矿相。经 AFM 测试可知，500℃退火薄膜样品 的晶粒最小。通过紫外可见分光光度计对薄膜的透射光谱进行测试，发现经 500℃退火的薄膜， 吸收边缘向可见光方向移动最大，说明此时的薄膜样品可以吸收更多的太阳能，有利于提高光 催化效率。 关键词： TiO2，薄膜，PLD，光催化 I 功能 TiO2 薄膜材料的制备及其性能研究 Abstract TiO2 has been received much attention due to its broad applications ni photocatalysis, gas sensing and photoelectric devices. The pho