一种新的光电技术波面干涉动态测量方法研究.pdfVIP

! Q：塑 Science andTechnology InnovationHerald 研 究 报 告 一 种新的光电技术波面干涉动态测量方法研究 周言敏 李建芳 (重庆电子工程职业学院应用电子学院 重庆 401331) 摘 要：传统的波面干涉检测是通过记录干涉条纹，然后对干涉系统进行分析．判读，最后获得波面的变形信息。这是一种典型的静态测量法， 精度较低．测量周期长。本文提出了一种全新的测试方法，即基于光电技术的波面动态测量法，论文对该测量法的测试原理，设备基本构成及实 际应用等作了较详细的介绍。此方法具有的高测量精度、高灵敏度及测量 自动化，实时化，数字化等优点，代表了光学测试技术的新水平和发展 方 向。 关键词：波面 干涉条纹 光电技术 光学测试 中图分类号：TB96 文献标识码：A 文章编号：1674—098x(2013)10(a)一0001—03 A new photovoltaic technology Dynamic wavefrontinterferometry measurementmethod ZHOU Yanmin．LIJianfang (Chongqingcollegeofelectronicengineering，Chongqing401331，China) Abstract=The traditionalwave surface interference examination is through the recording interference fringe，then carries on the analysis，the interpret to the interference system，finally obtains the wave surface the distortion information．This isone kind of typical static survey law，the precision is low，the survey cycle is long．This article proposed one brand--new test method，namely based on the ph0t0electricity technology wave surface dynamic survey law，the paper to this survey method testprinciple，the equipmentbasic constitution and the practicalapplication and SO on has made the detailed introduction．Thismethod has high merits and SO on measuring accuracy。high sensitivity and survey automation，solid currentevents，digitization，have represented the opticstesttechnology new leveland thedevelopmentdirection． Keywords：WavesurfaceIInterferewith grain；0ptoelectr0nicstechnique；opticaltesting 随着光学制造业的迅猛发展，对光学 工作面的相位 。整个系统具有较高的相位 示意 图。图中He—Ne激光器1输 出的激光 测试技术提出了新的要求 。传统的光学干 分辨率。 经扩束准直镜2后，变成为具有一定 口径的 涉检测方法，通常是通过照相或 目视方法