阴极荧光联合分析系统在III族氮化物研究中的应用.pdfVIP

第 卷 第 期 半 导 体 学 报 ２９ ６ 犞狅犾．２９ 犖狅．６ 　 　 　 　 　 　 年 月 ， ２００８ ６ 犑犗犝犚犖犃犔犗犉犛犈犕犐犆犗犖犇犝犆犜犗犚犛 犑狌狀犲２００８ 阴极荧光联合分析系统在 族氮化物研究中的应用 犐犐犐  赵 红 张 荣 谢自力 刘 斌 修向前 陆 海 李 亮 刘战辉 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 江若琏 韩 平 郑有? 　 　 　 （南京大学物理系，江苏省光电信息功能材料重点实验室，南京　２１００９３） 摘要：利用高性能阴极荧光（ ）联合分析系统对几类典型的 族氮化物材料进行测试分析 在光谱研究中，利用 紫 犆犔 犐犐犐 ． 犆犔 外可见光谱系统，对 面蓝宝石衬底上生长的 薄膜进行阴极荧光单色谱测试分析，揭示了 的激发强度与发 犮 犃犾犌犪 犖 犆犔 狓 １－狓 光带之间的变化关系 进一步研究了掺 的 薄膜的带边和杂质能级发光机理 利用 近红外光谱系统对 ． 犕 犃犾 犌犪 犖 ． 犆犔 犵 ０．５ ０．５ 薄膜的阴极发光特性进行了研究，验证了 实际光学带边 在 附近 利用微区分析（ ）系统，可 犐狀犖 犐狀犖 犈 ０７７犲犞 ． 犆犔犿犪 犻狀 犵 狆狆 犵 在紫外波段确切地给出材料不同波长的荧光发光区这一特点，对 生长的自支撑 衬底进行了 和 微区 犎犞犘犈 犌犪犖 犛犈犕 犆犔 的对比分析，研究了犌犪犖的位错类型和分布． 关键词：阴极荧光联合分析系统； 族氮化物；阴极荧光特性 犐犐犐 ： ； ； 犘犃犆犆 ７８６０犎 ６１１６犇 ７１５５ 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ） 犗４７１５ 犃 ０２５３４１７７２００８０６１１８４０５ 　　　 　　　 单色谱荧光光谱分析，在紫外波