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扫描探针显微镜技术 分类 扫描隧道显微镜 原子力显微镜 磁力显微镜 静电力显微镜 摩擦力显微镜 扫描热显微镜 扫描离子电导显微镜 1、扫描隧道显微镜 原理： 扫描隧道显微镜的原理是量子力学的隧道电流理论。 经典力学： 量子力学： 1、扫描隧道显微镜 扫描模式 1）恒流模式 2）恒高模式 3）功函数成像模式 4）电子密度成像模式 1）恒流模式 通过计算机控制针尖在样品表面X-Y方向扫描， Z方向利用一套电子反馈系统控制探针升降，使隧道电流保持恒定。 特点： 优点：适应样品表面较大起伏，图像质量高 缺点：扫描速度慢，容易受到低频信号干扰。 需求 2)恒高模式 探针以设定高度扫描表面，由于表面的高低变化，探针和样品间距离时大时小，隧道电流也随之改变。 特点： 优点：灵敏度高，扫描速度快。 缺点：样品表面起伏不能太大。 3）功函数成像模式 在恒流模式基础上，在Z向叠加一个高频调制信号来调制针尖-样品间距，产生调制电流。利用锁相放大器检测调制电流，调制电流幅值变化反应样品表面功函信息的变化。 4）电子密度成像模式 在恒流模式基础上，在针尖和样品之间叠加一个高频正弦电压作为调制信号，隧道电流的变化就不仅包括样品表面形貌引起的低频变化，还包括了高频调制信号，调制电流幅值与电子密度有关。 2、原子力显微镜 原理 利用一个对力敏感的微悬臂梁，尖端有一个微探针，当探针轻微接触样品表面，由于探针尖端的原子和样品表面之间范德华力，会使悬臂梁发生弯曲，将微悬臂梁弯曲形变信号转化为光电信号并放大，通过悬臂梁的弯曲反应样品表面起伏。 原子力显微镜的悬臂梁和针尖 2、原子力显微镜 工作模式 1）接触模式 2）非接触模式 3）轻敲模式 4）相位成像模式 5）轻敲抬高模式 各种模式下探针与样品表面作用力 1）接触模式-准静态 样品与针尖始终接触，通过反馈回路保持微悬臂形变量不变，使针尖和样品之间的作用力保持恒定，测量Z轴方向的运动(恒力)。接触模式中，针尖始终与样品接触，可以获得稳定、分辨率高的图像，但是不适合于研究生物分子、低弹性模量及容易移动和变形的样品。 1）接触模式-动态 利用振幅调制模式可以区分材料表面不同的相。 2）非接触式 采用一个共振频率较高的微悬臂梁，在压电陶瓷驱动下在共振频率附近振动，针尖和样品间的作用力将对微悬臂梁振动的频率和振幅产生影响，通过检测悬臂梁振幅的变化，通过反馈调整Z向的移动，就能获得样品形貌。该模式中样品和探针之间距离较大，分辨率较接触式低。 3）轻敲模式 在轻敲模式中，微悬臂梁在其共振频率附近做受迫振动，当针尖距样品较远时，悬臂梁以最大振幅自由振荡，振荡针尖接触到样品表面时，由于样品阻碍使悬臂梁振幅陡然下降。检测器测量到这些变化，反馈回回路，调整针尖的Z向运动，保证振幅恒定在一个固定值，针尖的运动轨迹反应了样品表面形貌。 特点：适合于生物大分子、聚合物等软样品的成像研究。有效避免了接触式中针尖在拉跨过样品而受到的相关联的摩擦力、黏着力、静电力及针尖划伤样品的弊病。 4）相位成像模式 位相模式是基于轻敲模式的发展，它是利用轻敲模式中悬臂梁振荡位相和压电陶瓷驱动信号位相之间位相差来成像。在自由振荡时，没有位相差，当悬臂梁接触样品表面时，由于样品的阻尼作用，使两者之间存在位相差，样品不同相的位相差也不同。 特点：除了具有轻敲模式的优点外，还可以区别不同性质的物相，对于纳米尺度上材料特性研究具有很大的优势。 相位成像模式示意图 图像失真及补偿 3、其它类型扫描探针显微镜 1）磁力显微镜 2）静电力显微镜 3）摩擦力显微镜 4）扫描热显微镜 5）扫描离子电导显微镜 1）磁力显微镜(MFM) 磁力显微镜是在探针针尖表面包覆一层铁磁性薄膜，使针尖具有磁性。针尖在对样品扫描时能感受到杂散磁场的表面磁结构信息。目前一般都是采用两段扫描来获得表面磁畴结构图像：首先采用采用接触或非接触式获得表面形貌像，然后抬高针尖至一定高度(100-200nm)，沿着第一次扫描轨迹进行第二次扫描，测得磁力数据。 2）静电力显微镜(EFM) 给针尖和样品之间提供一个电压，电压在针尖和样品之间形成静电场；当探针在样品表面上扫描时，由于样品表面上电荷密度分布有差异，探针和样品表面间形成静电力就会发生变化，通过测量微悬臂梁的偏转就可以得到样品表面电荷分布情况。 3)摩擦力显微镜(FFM) 在AFM的接触模式中，利用四象限光电监测器同时记录探针的垂直及水平位移，则可以在获得样品表面形貌的同时获得表面摩擦力性质。 3、扫描热显微镜 所用探针是一根表面覆盖有镍层的钨丝，镍层和钨丝之间有一层绝缘层，只是在探针尖端两种金属才结合在一起。这一钨/镍结点起热电偶作用，它产生一个与温度成正比的电压。首先将样品稳定在样品上方，并向结点通直流电加热，当探针