高速光探测器频率响应的精确表征.pdf

第 27 卷 　第 9 期 半 　导 　体 　学 　报 Vol . 27 　No . 9 2006 年 9 月 C H IN ES E J O U RN AL O F S EM I CON D U C TO RS Sep . ,2006 高速光探测器频率响应的精确表征 温继敏 　伞海生 　黄亨沛 　谢 　亮 　祝宁华 　赵玲娟 　王 　圩 ( 中国科学院半导体研究所 集成光电子学国家重点实验室 , 北京 　100083) 摘要 : 提出一种新的基于分布布拉格反射可调激光器的光外差频率响应测试系统 , 并给出了准确有效的校准方法 来消除输出光功率和拍频线宽的波动等引起的误差 , 从而可以精确表征高速光探测器的频率响应特性. 通过对标 准高速光探测器的测试和校准 ,得到的结果与制造商提供的数据表相当符合 , 证明了该测试方法的准确性和有效 性. 文中也研究了系统中可能会影响频响特性测量的其他因素 , 如光源的边模抑制比、波长调谐速度等. 关键词 : DB R 可调激光器; 光外差技术; 频率响应; 高速光探测器 EEACC : 7230 中图分类号 : TN 247 　　　文献标识码 : A 　　　文章编号 : 02534 177 (2006) 示意图, 主要由 DB R 可调光源 、光纤环形干涉仪 、 1 　引言 探测分析装置以及 G PIB 控制部件四部分组成. 其 中最显著的特征是 , 仅用一只 DB R 可调激光器就 高速光探测器是光传输和光信号处理系统中的 替代了传统光外差测试系统中的两只频率匹配和频 基本元件 , 然而 随着光探测器 的带宽超过几十 率稳定性要求苛刻的激光器. 本文采用的四段式 μ ( ) G Hz , 其频率响应特性的精确表征变得越来越难. 15 m 多量子阱 MQ W DB R 可调激光器 , 由有源 ( ) ( ) 最近二十年来发展的频率响应测试方法有四大类 : 增益区 active 、前/ 后布拉格光栅区 Bragg 、相区 网络分析仪频率扫描测试法[ 1 ] 、光脉冲频谱分析 法[ 2 ] 、干涉 的频率调制边带谱分析法[ 3 ] 和光外差 法[ 4 ] . 前三种方法都存在不同程度的局限性[ 5 ] , 将越 来越难于满足频率响应测试的宽带要求. 已经证明光外差法是一种有效的方法[ 4 ～7 ] , 其 ( 优点在于不需要额外的校准光源 在所测频带上频 ) 率响应特性已知或者相当平坦 , 就可测试光探测器 的宽带频率响应. 然而 ,传统的光外差测试系统需要 两只频率匹配和频率稳定性要求苛刻的激光器[ 8 ] , 因而需要一套精密的温度监控系统或机械微调装 置; 且环境对任何一个光源的相对扰动都会带来拍 频频率的漂移 , 因此系统复杂而且稳定性差. 本文提 ( ) 出了一种基于分布布拉格反射 DB R 可调激光器 的光外差测试系统 , 系统简单可靠 , 并针对不同情