二维光子晶体的软平板印刷技术制作研究3.pdfVIP

第 38 卷第 1 期 光 　子 　学 　报 Vol . 38 No . 1 2009 年 1 月 　　　　　　　　　　　　 J anuary 2009 A C TA P HO TON ICA SIN ICA 二维光子晶体的软平板印刷技术制作研究 1 ,3 1 1 1 1 2 3 3 3 张飒飒 ,王青圃 ,张行愚 ,连洁 ,常军 ,李岚 ,陈佳琦 ,王丽 ,陈瑞曾 ( 1 山东大学 信息科学与工程学院 ,济南 250 100) (2 天津理工大学 材料物理研究所 ,天津 300 19 1) (3 德克萨斯大学 奥斯汀分校 微电子研究中心 ,德克萨斯 奥斯汀 ,78758) 摘