初始成分对构建多孔铜结构的研究.pdfVIP

初始成分对构建多孔铜结构的研究 尹硕1’2，蒋晓东2，胡文成1 1．电子科技大学微电子与固体电子学院， 四川成都610054 19oO 2．中国工程物理研究院激光聚变研究中心，四川绵阳62 摘要 采用电弧熔炼技术制备了不同初始成分的Mn—Cu合金，在O．Olm01几HCl 溶液中自由腐蚀去合金化，获得了具有双连续结构的纳米多孔铜。用XRD、SEM 和EDS分析了样品的相组成、微观形貌和成分含量。研究表明，通过控制初始成 分条件可获得孔径为10nm—120姗，系带尺寸为20nIIl一110咖的纳米多孔铜。初始 Cu含量为40at．％的合金去合佥化受到限制，并留有Mn—Cu合金的岛状结构。舍 铜30at．％至20at．％的合金形成了具有双连续结构的纳米多孔铜，但内部存在裂 纹。随着铜含量的降低，孔径牵系带尺寸明显提高。Cll含量低于20at．％的合金 腐蚀后，样品破碎程度高，形成纳米颗粒． 关键词：电弧熔炼技术；去合金化；双连续结构；纳米多孔铜 纳米多孔金属是孔径尺寸为纳米量级的多孔金属材料，由于具有高的比表面、良好的热 导率和电导率使其在催化、传感和生物探测等领域都有广泛的应用【