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中国可再生能源学会2011年学术年会论文（光伏） 大面积非晶硅//微晶硅叠层薄膜太阳电池的激光划线研究// 张德坤、任慧志、魏长春、许盛之、王宗畔、赵颖、张晓丹 (南开大学光电子薄膜器件与技术研究所，光电信息技术科学教育部重点实验室，光电子薄 膜器件与技术天津市重点实验室，天津，300071) 通讯作者：张晓丹 E-mail:xdzhang@nankai.edu.cn 摘要：本文主要对大面积非晶硅/微晶硅薄膜太阳电池的第二道和第三道激光切割进行了研 究。针对微晶硅薄膜厚度增加、硅材料也更为致密，从而使得其对激光设备及工艺提出了更 高的要求。通过我们对激光切割中的电流、频率以及电池有无背反射ZnO 的研究，对非晶 硅/微晶硅薄膜太阳电池的切割工艺有了一定的深入认识。为获得高效率大面积的非晶硅/微 晶硅叠层电池的激光切割工艺提供了很好的数据基础。 关键词：非晶硅/微晶硅叠层；激光切割；ZnO背反射 1 的基点。 1 11 引言： 目前，已实现大规模产业化的硅薄膜电 国际公认，非晶硅/微晶