采用超晶格平面波展开和谐频响应法对硅基兰姆波声子晶体的研究.pdfVIP

第28卷第5期 声学技术 Pt．2 V01．28，No．5 2009年10月 TechnicalAcoustics Oct．．2009 采用超晶格平面波展开和谐频响应法对硅基兰姆波 声子晶体的研究 祝雪丰，阚威威，程建春 (南京大学卢学研究所，南京，210093) of Lambwave silicon—based Study phononiccrystalapplying wave and method super-cellplane expansion response harmony ZHU Jian—chun Wei—wei，CHENG Xue—feng，KAN (Institute 21009,China) ofAcoustics,NanjingUniversity,Nanjing 1引言 构，并采用有限元分析验证了该方法的有效性。不 近些年来，硅基兰姆波声子晶体的研究逐渐成 的禁带位置也充分验证了该方法的有效性i31。该方 为一个研究热点。硅基兰姆波器件在无绳通信以及 法主要是在垂直于板方向(定为z方向)引入理想低 传感领域都存在极大的应用潜力。基于该晶体中(准) 声阻抗媒质(LIM)，该理想媒质与板在z方向相互 周期性结构所产生的声禁带，可以设计并制备出很 交替排列构成一个三维模型。媒质内声速极大，以 多极为有用的器件，以替代传统的声表面波器件。 至于弹性波基本被局限于板内传播。该方法巧妙的 值得一提的是，美国乔治亚理工大学研究人员 避开了上下自由边界条件，在保证计算精度的条件 Mohammadi等于2008年率先采用半导体微加工工 下，极大地简化了模拟过程，且该方法模犁上非常 艺在硅基上制备出性能极佳的声谐振剧1|，极大地 灵活，通过改变超元胞的结构，还可以获得一维、 推动了该领域的实验研究上作。 加衬底、内含缺陷(点／线)兰姆波声子晶体能带结构 2数值计算 图，在优化结构参数获取较宽声禁带方面具有很强 的优越性。 本文主要采用了超品格平面波展开和谐频响应 谐频响应法是一种基于有限元的计算方法。该 法对硅基兰姆波声子晶体进行理论计算和分析。首 方法通过引入同定频率谐振源获得线性系统在稳 先考虑的是在硅板上打孔的情况(二维1，比较并分 态振动下各个节点对应的振动位移以及相位。该方 析孔阵列分别为正方形和正六边形排列对应的能带 法属于一种频域分析法，可直接将探测点在不同频 结构图。其次考虑的是在硅板上刻槽填金的情况(一 率载荷下对应的位移转换为该点对应的透射能量 维)，采用谐频