聚焦离子束电子束双束系统在钢铁材料研究中的应用.pdfVIP

聚焦离子束电子束双束系统在钢铁材料研究中的应用 ·1 · 聚焦离子束电子束双束系统在钢铁材料研究中的应用 金传伟 洪慧敏 张 珂 汪 兵 （沙钢钢铁研究院，张家港 215625 ） 摘 要 聚焦离子束电子束双束系统集成了电子束的高分辨率和离子束的样品加工功能，在半导体行业的材料失效 分析领域发挥着积极的作用。近年来，双束系统开始在钢铁材料研究领域推广和应用。本文对双束系统在钢铁材料 透射电镜样品制备、三维原子探针样品制备等方面作了详细分析，同时介绍了双束系统在钢铁材料表面形貌的分析、 图像三维重构、失效分析以及镀层厚度检测等方面的应用。 关键词 聚焦离子束 钢铁材料 微加工技术 三维重构 Application of Focused Ion Beam and Electron Beam Dual-beam System in Ion and Steel Material Studies Jin Chuanwei Hong Huimin Zhang Ke Wang Bing (Institute of Research of Iron and Steel of Sha-Steel, Zhangjiagang, 215625) Abstract Focused ion beam and electron beam dual-beam system combines the high-resolution of electron beam and the excellent sample processing function of ion beam, which has played an positive role in the failure analysis of semiconductor materials. In recently years, the dual-beam system has begun to be promoted and applied in the field of iron and steel materials research. This paper provides a detailed analysis on the sample preparation for Transmission Electron Microscope and three dimensional atom probe. The application of the dual-beam system in surface morphology analysis, three-dimensional image reconstruction, failure analysis and coating thickness measurement in ion and steel materials is also introduced. Key words focused ion beam, ion and steel material, micro-fabrication technology, image three-dimensional reconstruction 1 前言 聚焦离子束（Focused Ion Beam，FIB ）系统把高能离子束聚焦到样品表面，在不同气体的辅助作用下 通过改变离子束流大小分别实现材料成像、切割、图形刻蚀、薄膜材料沉积等功能，能对材料进行纳米尺度 [1] 的加工，进而为透射电镜、扫描电镜、原子探针等现代测试手段制备样品 。 聚焦离子束电子束双束系统由聚焦离子束系统和扫描电子显微镜