纳米金刚石复合涂层的沉积与表征研究.pdfVIP

纳米材料 中国微米纳米技术学会第十一届学术年会 纳米金刚石复合涂层的沉积与表征研究 马玉平r，袁根福1，赵海涛2，姚燕生1，孙方宏3，陈明3 1、(安徽建筑工业学院机械与电气工程学院学院，合肥，230022) 2、(盐城工学院机械工程学院，盐城，224003) 3、(上海交通大学机械与动力工程学院，上海，200240) 金刚石薄膜具有一系列优异性能，它具有十分接近天然金刚石的硬度、高的弹性模量、 极高的热导率、低的摩擦系数、低热膨胀系数和化学稳定性以及极好的抗酸、抗碱、抗各种 腐蚀性气体侵蚀的优异性能，从而使其在各个技术领域得到了广泛的应用。 然而，由于常规CVD金刚石薄膜晶粒度较大，呈柱状生长，表面较粗糙，同时高硬度 表面也给后续抛光处理带来很大困难，直接限制金刚石薄膜的推广应用和产业化进程。因此， 许多研究致力于改善常规金刚石薄膜的表面粗糙度和后续抛光技术。 随着CVD沉积金刚石薄膜技术的发展，纳米金刚石薄膜涂层技术应运而生，并已迅速 成为CVD金刚石膜研究领域新热点。纳米金刚石薄膜具有表面光滑平整，摩擦系数小等特 性，其表面粗糙度远低于常