原子光刻中激光准直52Cr原子束研究.pdfVIP

第39卷，增刊 红外与激光工程 2010年5月 V01．39 InfraredandLapser Mav．2010 Supplement Engineering 原子光刻中激光准直52Cr原子束研究 焦晓光，石春英，殷聪，钱进 (中国计量科学研究院，北京100013) 摘要：原子束准直度是原子光刻的关键参数之一，实验采用激光冷却技术对52Cr原子束进行 横向冷却获得高准直度原子束。在分析原子光刻系统结构的基础上，重点研究了一维多普勒冷却技 术，对激光准直进行受力分析。结果表明：在光强远小于饱和光强的条件下，驻波场可以代替两束对 射的激光，为实验提供了理论依据；并得出弱场条件下多普勒冷却机制激光最佳失谐量为一2．5MHz (铬原子的自然线宽为5MHz)。在激光失谐为一2．5MHz，功率为20mW的条件下进行实验，经过 激光准直，原子束的准直