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4低温制备ZnO∶Al透明导电膜及其特性的研究.pdfVIP

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  • 2017-09-04 发布于安徽
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4低温制备ZnO∶Al透明导电膜及其特性的研究.pdf

    第27卷第6期 真空科学与技术学报 VACUUM 2嘣7年n、12胃 CHLNESEJOU躲缸oF SClLNCEAND僦酬a∞“ 磁控溅射低温制备ZnO：A1透明导电膜及其特性研究 置涛1--7训刚1。丁茺1舒避杰2武暂3 1．北京航空航天大学理学院北京100083；2中国置程物理研究院化工材料 f 、 、辑究辑缘辫621900；3。憩衰靛空航天夫学航空辩攀号技拳学褒麓衷10∞昭j Growthand of ConductiveZnO：AIFilms PropertiesTransparent Magnetron atLow by Sputter

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