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青岛赛瑞达设备制造有限公司
目录
软件使用说明3
1 启动3
1.1 启动3
2 .进程管理3
2.1 工艺信息4
2.2 通讯4
2.3 工作状态5
2.4 报警显示5
2.5 阀门及流量显示功能5
2.6 推拉舟(机械手)状态显示6
2.7 工艺控制7
3 .工艺管理9
3.1 窗口介绍9
3.2 工具栏介绍10
3.4 工艺（RECIPE）编写步骤10
4．工艺表18
4.1控制温度表18
4.2 Profiles修正表20
4.3 工艺信息表21
5. 实时曲线22
5.1 曲线查看22
5.2 工具栏23
6． 历史记录23
6.1 查询历史数据23
6.2 数据操作24
7．事件日志25
7.1 基本操作25
8.用户管理26
8.1添加和删除用户26
8.2修改用户权限27
9 串口配置27
9.1 串口27
10 扩散炉参数配置28
10.1 Profile校验28
10.2 舟位调整29
10.3 流量计29
10.4 报警参数设定30
10.5 炉管名称修改31
11 手动控制31
11.1 温度控制功能31
11.2流量及阀门控制功能32
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11.3机械手位置和速度控制32
11.4操作提示功能32
12 模拟显示33
12.1 温度组态显示33
12.2 气路组态显示33
12.3 组态画面可修改34
12.4 通讯参数可配置34
2
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