平台平面度檢測之不確定度評估研究.pdfVIP

平台平面度检测之不碓定度抨估研究 到惠中宰碾圈明 工菜技衍研究院量测技衔骚展中心研究员 摘要t近年东虚檠彀储本土化之骚展蓬勃具起，尤其是PCB、TFT-LCD、LED、太赐能等麈 棠之裂程或自勤化桧测毅侑，遽些毅借均需有高精度、穗定性佳的平台基座作捣基磋，才 能碓保废品品赏，所以需充份了解平台之平面度榆测方法舆量测之最佳能力分析，以作药 品管或验收之参考。 本研究保参考园隙檩辈组缴ISOGUM所建菇之要因分析法，造行平台平面度桧测之量测 不碓定度分析，其主要不碓定度来源有基座重合误差、鼋子水平俄解析度、重梭性、追溯 不磋定度、最小平方法误差等。揉用平台(3380舳X 1460唧，平面度稳61岫)舆平台(600 姗X450 m‰平面度捣4．2岬)，配合鼋子水平侥造行寅聆，可以得到平面度之不碓定度(U蛎) 分别南3．8lIm和1．3IIm(摭充保敷约猖1．96)。 阴键字：平面度、ISOGUM、量测不磙定度 1．前言 近年柬虚巢毅倩本土化之骚展蓬勃具起，尤其是PCB、TFT-LCD、LED、太赐能等虚橥 之裂程或自勤化榆测没借，遣些设侑均需有高精度、掇定性佳的平台基座作箱基磋，才能 碓保崖品品夤。所以需充份了解平台之平面度榆测方法舆量测之最佳能力。平台虑用在三 次元量床、工具橇和量测毅借方面，因平台表面是被富成量测畴之基淖面，所以必需榆测 平台精度，以罐保加工精度或工件量测品酋。 平面度量测慌器，可使用鼋子水平饿、自勤视辈倦、直规搭配量镶、雷射干涉俄搭 配角度绕组舆雷射干涉馐搭配直缘度镜组等量具；量测平面方法有米字型及方格型雨穗， 虑用综性逗蹄法定羲出一倜参考平面，比较各量测黠到此参考平面之距雕，平面度鹨最大 舆最小距雄之差值。 本研究针封使用鼋子水平侥捣量具，探用方格型量测平面度方法，参考固陈檩犟组 绒ISO GUM所建菇之要因分析法，暹行平台平面度榆测之量测不碓定度分析，韭探用平台 II (3380哪×1460咖)之平面度耦61m，捣2级等级之平台，量测封角缘畏捣3644岫，平 II 台(600姗×450衄)之平面度稿4．2m，羯0级等级之平台，量测封角综畏鹈625哪，配 合鼋子水平俄遣行寅翳，针算其量测不碓定度值，得到平面度之不碓定度(U，s)分别裔 3．8It Il m和1．3 m(接充傺敷稿1．96)。 2．平面度量测之量测不碓定度推尊 本研究针封使用鼋子水平慌掏量具，探用方格型量测平面度方法。以鼋子水平侥量 测高低差原理，遥行直综度量测，再由多绦直缘度量测组合成平面度量测。 2．1高低差量测 将鼋子水平僦置放在一量测平板上。使用鼋子水平供量测其基底座之左右雨端 高低差，示意圃如固1，可得到下列方程式： h=d·tan(0)-d．O(富e1’) 其中0：鼋子水平俄量测值，单位翥m／m。 d：鼋子水平饿底座畏度，罩位捣咖。 h：量测高低差，罩位鹚唧。 参考ISOGUM，可得到不雅定度方程式如公式2： 在量测值的等级上，d鹅O．125m，u(0)鹅0．006mm／m，0捣0．02m／m，U(d)耦 u 0．1衄(=O．0001m)，所以d·u(O)猖0．75um，0·U(d)鹅0．002m，二者相差二佃等 级以上，所以0·U(d)项可忽略。公式2化简稳： u2(h)=d2．i12(0) (3) 2．2直缘度量测 使用鼋子水平饿乘量测直综度如固2(如直规之直缘度量测)，量测第11黠相封於 第0黠之高低差，可以公式4表示， = = = 日 d d “) ％ 只 只