微细电火花加工中电极损耗的在线预测与补偿技术的研究.pdfVIP

微细电火花加工中电极损耗的在线预测与补偿技术 的研究 1 1 1 2 张勇 王振龙 李志勇 赵万生 (1.哈尔滨工业大学, 黑龙江哈尔滨150001; 2.上海交通大学机械与动力工程学院, 上海 200030) 摘要: 开发出了具有 4 轴 3 联动的微细电火花加工装置。针对该装置，对三维微结构的电火加工技术进行了研究。 通过对微细电火花铣削加工过程的放电状态规律进行研究，本文提出了以放电状态开路率的统计规律来对电极损 耗状况进行预测的方法，并在此基础上提出了三维微结构电火花加工过程中电极损耗的自动补偿策略。与此同时， 结合电极自动补偿策略与电极等损耗理论，提出采用通用的机械铣削 CAD/CAM 软件进行微细电火花铣削加工 CAD/CAM 设计的方法，在 UG 软件平台上进行了实践。利用该方法在半导体硅材料上完成了具有微半球结构及 具有空间三维结构的微梁加工，证实了该方法的广泛实用性以及在 MEMS 领域的应用前景。 关键词：微细电火花加工；电极损耗预测与补偿；CAD/CAM ；微结构 仪器、设备的微型和小型化给人们的生活带来 的放电状态规律进行了研究，提出了三维微结构电 了极大的便利。这些微型、小型产品以其体积小、 火花加工过程中电极损耗的预测与自动补偿策略， 重量轻、性能稳定和便于携带等优点越来越受到人 并对微细电火花铣削加工的CAD/CAM 技术进行了 们的关注与青睐。MEMS 技术的快速发展与应用进 研究。 一步促进了产品微小型化的进程。正是产品的微小 型化又进一步促进了微机械制造技术的发展。作为 1 微细电火花加工装置的设计 微机械制造技术一个重要分支的微细电火花加工技 术以其非接触加工、容易实现高深宽比和微三维结 整个装置构成的实物图片以及原理图分别如图 构加工的特点而得到了广泛的应用。 1 (a)、(b)所示，为了减少装置的离散电容对微细电 与 LIGA 、光刻等微细加工方法相比，微细电 火花加工过程产生的影响，整个装置的基座部分全 火花加工技术的优势在于能实现真三维微结构的加 都由花岗岩组成。x ，y ，z 精密伺服机构构成了实现 工。但是受工具电极损耗以及微小成型电极制作困 三维运动的基本部件，每个方向运动部件由直流伺 难等因素的影响，用常规成型电火花加工的方法很 服电机驱动，其行程范围为 102 mm×102 mm×102 难实现三维微结构的加工。为此，人们进行了大量 mm 。精密旋转主轴直接安装在z 轴运动部件上，由 的探索与研究，也取得了许多大的突破[1, 2] 。电极等 z 轴运动部件带动旋转主轴作上下进给运动。x ，y 损耗与分层铣削理论应运而生，这些理论促进了微 轴运动部件带着旋转主轴分别作左右、前后运动， 细电火花加工技术的进一步发展，也拓展了微细电 以实现旋转主轴的x 向和y 向进给运动。电极安装 在旋转主轴头上，以实现微细电极制作和用微细电 火花加工技术的应用领域。但分析发现，电极等损 极进行加工时的旋转运动，其中精密旋转主轴由直 耗微细电火花加工理论存在着计算量大以及难以获 得精确的电极损耗模型的缺点[3, 4] 。为此，本文在开 流伺服电机驱动，转速从 1 000～25 000 r/min 连续 可调。线电极磨削装置用于在线制作微细电极，RC 发出的微细电火花加工装置上对三维微结构的电火