多层结构的银基透明导电薄膜及其热稳定性的研究.pdfVIP

27．多层结构的银基透明导电薄膜及其热稳定性的研究 陆浙周琳朱峰陈晓红孙卓 华东师范大学纳光电集成与先进装各教育部工程研究中心 通信作者陈晓红xhchen@phy．ecnu，edu．crl AZO／AI／Ag／A1／AZO五层透明导电薄膜，该体系薄膜400．700nm的平均透过率在80％以上， 方块电阻为5．7DJsq，而前者电阻显著上升(25D．／sq)。这表明五层结构的薄膜有效提高了 热稳定性，极有可能是LiF或Al层阻碍了Ag的扩散及团聚。 关键词：透明导电薄膜；磁控溅射；退火；热稳定性 conductivefilms Ag—basedmultilayer depositedmagnetron transparent by andtheirthermal sputtering stability Abstract：The thin