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第 43卷 第 7期 红外与激光工程 2014年 7月
Vo1．43NO．7 InfraredandL,aserEn~ineerin Ju1．2014
Simulation studiesonelectricalcharacteristicsofconicaland
pyramidalfieldemitters
Fu Jianyul_，ChenDapeng，WangGuoyin，W uDi
(1．ChongqingInstituteofGreenandIntelligentTechnology，ChineseAcademyofSciences，Chongqing401122，China；
2．IntegratedCircuitAdvancedProcessCenter，．InstituteofMicroelectronics，ChineseAcademyofSciences，Beijing100029，China)
Abstract：Conical and pyramidal emitters are two generic field—emitter structures．Due to specific
advantagesoffield emission，both emitters raewidely employed to produce electron beams．The main
focusofhtispaperisot analyzehteelectrical chraacteristicsofbothemitters，andfurther，tohighlightthe
key criteria in optimizing hte structures．Forthispurpose，htree-dimensionalmodelswere implemented
and finite—elementanalysiswasused to investigate hte influencesofemittergeometries，including shape
ofemi tter，emitter radiusof curvature，emi tter．anode distnace and emitterheight，on its electlric field
distribution na d srtength．The results indicate htat reducing tip radius of curvature and shorting the
emitter．．naodedistance raeeffectivewaysto increasehtefield srtength enhancement，while aproperratio
of hte emitter height to hte emitter．．naode distance iS also an important factor． In addition， in
consideration of boht electric field distribution nad srtenght，hte conical emitter is suitable for high—
resolution，lragecurrent．-densityapplications，whereashtepyramidalemitterhasbetterpressuresensitivity．
Keywords：fieldemission； simulation； vacuum electricdevices
CLC number：O462．4 Documentcode：A ArticleID：1007—2276(20l4)O7—2277—06
锥形与金字塔形场发射，!、=．皇Ⅱ‘日电学特性分析
傅剑宇 1,2，陈大鹏 ，王
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