宽截止窄带高反射滤光膜设计.pdfVIP

维普资讯 第 28卷 第 5期 光 学 学 报 Vo1．28，No．5 2008年 5月 ACTA OPTICA SINICA Mav。2008 文章编号 ：0253—2239(2008)05—1001—06 宽截止窄带高反射滤光膜设计 彭东功 吴永日0焦宏飞 曹 鸿 王振华 付联效 郑秀萍 (同济大学 ，精密光学工程技术研究所 ，上海 200092) 摘要 窄带高反射滤光膜在光通讯、光学探测仪器等领域有着重要应用。探讨了“基片IH(IH) aL(HL)。风MI空 气”膜系结构的窄带高反射滤光膜系，讨论 了金属 cr层厚度 ，以及两种不 同的匹配膜系对滤光膜特性的影响，计算 了cr层 内部的电场分布 。结果表 明，较厚的金属层可实现更宽的截止带宽，匹配层 的加入有效地实现 了宽截止带 的深截止 ，使 中心波长处导纳为较大值 的匹配膜系可 以更好地实现滤光膜宽截止、窄带高反射特性 ；匹配膜层使 中 心波长处 cr层 内部的电场强度趋于零 ，有效地 降低 了整个膜系的吸收，提高了反射率 。 关键词 薄膜光学；窄带反射滤光膜 ；非对称法布里一珀罗结构 ；导纳 ；匹配膜系；超薄金属 中图分类号 0484；TB43 文献标识码 ：A DesignofNarrowbandHigh·ReflectionFilterCoatingwith W ideStopBand PengDonggong WuYonggang JiaoHongfei CaoHong WangZhenhua FuLianxiao ZhengXiuping (InstituteofPreciseOpticalEngineeringandTechnology，TongjiUniversity，Shanghai200092，China) Abstract Narrowband high—reflection filter coatings are very importantin opticalcommunication and optical detectors． A kind of narrowband high—reflection filter coating with structure of “substrate IH(LH)…laL(HL)。 MIair”wasproposed，theinfluencesofCrthicknessandtwodifferentmatchingfilmstacks onthe characteristicsofthe filtercoating wasdiscussed，and the distribution ofthe internalelectric field was calculated．Resultsshow thatawiderstopbandinreflectioncanberealizedwithathickermetalliclayerandinserting amatchingstackwillproduceadeeprejectionofthestop—band．Thematchingstackleadingtoagreateradmittance helpsobtainawidestop—bandandnarrow—bandhighreflection，andalsoproduceszeroelectricfieldintensityintheCr layeratthecentralwavelength，whichconsequentlyreducestheabsorptionandenhancesthereflectanceofthefilter． Keywords thinfilm optics；narrowbandreflec