玻璃厚度高精度检测仪光学系统研究.pdf

摘 要 为了实现对玻璃厚度的高精度检测，本文提出一套玻璃厚度高精度检测装置。主 要的组成机构包括有光学测量系统、光学分析系统、数据处理系统三大部分。 文中主要针对玻璃厚度高精度检测仪的光学分析系统进行设计。其中包括对光源 的选择、共焦系统的设计和探头的选择。在对光源的选择上，因为该系统的测量原理 是使用光学系统的位置色差来测量厚度，所以所选光源的光谱范围越宽，系统的测量 范围越大。在对共焦系统的设计中，选取一种光学系统能在有效降低七种初级像差中 的垂轴像差和球差的前提下产生较大的位置色差，进而通过控制位置色差的大小，使 位置色差与波长成线性关系，从而对测量数据进行处理计算，且能提高测量精度。最 后是对探头的选择，它是根据共焦光学系统得出的，并且根据被测件厚度和测量要求 进行更换。 关键词：厚度检测 共焦光学系统 位置色差 In ordertoachieVe detectionofthe higll-predsion glassthicl【lless，a thickness is main iIlcludetllree glass testingequipmentproposed．Thecomponents pans：all optical measuringsystem，叩tiCalanalysissystem，dataprocessingsystem． IIlthis fof paper，theoptical锄alysissystemhigllprecision出ass-thicl【lless measurementis theclosenof confocal source，the designed，indudingli曲t systemdesign柚d the fortheChoiceof the ofthe istousethe probe．As ligllt，siIlce system measuringprinciple chromaticaberrationof usedforthetllickness a source opticalsystem measufement，soligllt witllawider shouldbechosenfortheinterestof spectralrangc a黟eater wllich theconf6cal is can ragc．hl systemdesi印，柚0pticalsystemdesi垆ed e如ctiVely rcducetheVenicalaxisaberrations柚daberrationoftheseVen aberrations spherical primary alldhave clⅡomatic the 0fchromaticabenation a铲eat aberration．Byc咖仃ollingintensity 柚d alinear