改进二维光电位置传感器及线性度实验研究.pdfVIP

维普资讯 第32卷第2期 中国测试技术 v01．32 No．2 2O06年3月 CHINAM ．As1IREMENr11已CHNOU)cY Mar．20o6 改进二维光 电位置传感器及线性度实验研究 吴丽雄 ，黄玉珠 (1．广东省湛江市质量计量监督检测所，广东 湛江 524022；2．河南省计量科学研究院，河南 郑州 45oo80) 摘 要：介绍了日本HAMAMASTU公司改进表面分流型二维光电位置传感器的工作原理及专用信号处理电 ．指 出其仍存在位置检测误差比较大的显著缺点。作者沿传感器高度和水平Y两个方向在~r5mm内对该传感器 性 度进行了大量实验研究，实验结果表明，该传感器的线性度性能A区要明显好于B区，应用时如能控制在A区，将 具有较高的测量精度，其非线性度误差可达到≤l％。 关键词：位置传感器；线性度实验；非线性度误差 中图分类号：qlr212．9 文献标识码 ：A 文章编号：1672-4984(2006102-0142．03 Study0ntheimproved2-dimen．sionalPSI)anditslinearity WU Li-xiong，HUANGYu-zhu2 (1．ZhanjiangInstituteofSupervisionandTestonQualityandMeasure，Zhanjinag524022，China 2．HenanInstituteofMetrology，Zhengzhou450008，China) Abstract：Thispaperintroducedthe neipleandsignalprocessingcircuitoftetra-lateral2-dimensionalPositionSensitiveDetector bvHAMAMAS1IIC0．ofJapanandpointedouti乜theremarkabledefectoflargepositiondetcetcrier．Theauthormadf~alotof experimentsonthePSD lineariyt along Ydirectionofbeightandlevelwithin ITlln．Theexperimentsshow thatthelinear propertyinareaA isobviouslybetterthaninareaB．IftheapplicationofthePSDcanbe controlledinaeroA，ahighertest precisionwi11beachieyednadhtelinearitycanbe reducedtoless thanl％ ． Keywords：Positionsensitivedetector；Lineariyt experiment；Linearityerror 1 引 言 位置敏 感 探 测 器 (Position SensitiveDetector，简称 PSD)是二十 世纪七十年代为适应位置、位移、 厚度等的动态实时检测而开发出 的一种新型光电传感器，具有响应 速度快、位置分辨率高、适配电路 简单等特点，目前在光学定位跟 踪、非接触测距、激光准直等方面 具有很大的应用潜力…。当前制 BIAS 约这些应用的主要因素主要有线 性度、背景光的影响等。 cj一结电容；Rsh泄漏电阻；Rp一位置电阻 改进表面分流型二维 PSD传 图1 改进表面分流型二维PS