改进型PSD非线性误差分析及其应用研究.pdfVIP

维普资讯 第35卷第2期 光电工程 Vo1．35，No．2 2008年 2月 Opto—ElectronicEngineering Feb，2008 文章编号：1003—501X(2008)02—0123—05 改进型PSD非线性误差分析及其应用研究 李田泽 ，王淑云 ，申 晋 ，袁 江2 (1．山东理工大学 电气与电子工程学院，山东 淄博 255049； 2．南通大学 机械工程学院，江苏 南通 226007) 摘要：阐述半导体光电位置敏感器件(PsD)的横向光电效应，改进型2D．PSD的结构、特点、工作原理，在此基础 上，提出一种新的电桥理论分析2D．PSD的中心与边缘产生非线性及其误差的原因。采用高精度低温漂高输入阻 抗的前置放大器、加法器、减法器、除法器等元器件设计 了一种改进型2D．PSD的信号调理电路，用于高精度的 激光准直系统中。该信号调理电路将激光束经光学透镜、光阑、滤光器等光学元器件处理的光信号转换为电信号 后，送入数据采集系统，利用直线度测评软件直接在计算机上将被测件的直线度测量显示。系统特点是：响应速 度快；位置分辨率高；能实时检测等优点。最后给出测量实验结果和几个重要结论。 关键词：横向光电效应；非线性误差；半导体光电位置敏感器件；电桥理论；激光准直系统 中图分类号：TN929．1 文献标志码：A NonlinearErrorAnalysisofImprovedPSD andItsApplications LITian-ze，WANG Shu-yun1，SHENJin1，YUAN Jiang (1，CollegeofElectricalandElectronicEngineering，ShandongUniversityofTechnology,Zibo255049，China； 2，CollgeofMechanicalEngineering，NantongUniversiyt，Nantong226007，China) Abstract：Anew bridgetheoryisputforwardtoanal3，zethereasonofnonlinearityerrorscausedbythecenterandedge ofTwoDimensionalPositionSensitiveDetector(2D-PSD)onthebasisofexpoundinghtelateralphotoeffect，hte operatingprinciple，architectureandcharactersofimproved2D-PSD．A signalprocessingcircuitforimproved2D-PSD includinghigh—precision，low temperatureexcursionnadhigh inputimpedancepreamplifier,summator,subtracterand dividerisusedinhigh-precision lasercollimation system．The singalprocessing circuitconvertshteopticalsingals processedby opticalsystem includingopticallenses，diaphragm，lightfilteretcinto electricalsingals，andthenthe electricalsignalswillbesentintodataacquisitionsystem．Thestraightnessmeasureresultsof