氮化铝陶瓷研究和发展.pdfVIP

第 卷 第 期 稀有金属材料与工程 )! ! vg7|)!8g%! 年 月 o3oqrq/3zr3/qo{3z\38h q80{8qqo{80 xW}TaSTb#’’# #’’# # 氮化铝陶瓷研究和发展 ! !# ! ! ! ! 秦明礼 曲选辉 林健凉 肖平安 祝宝军 汤春峰 中南大学 湖南 长沙 $!% !’’()* 北京科技大学 北京 $#% !’’’()* 摘 要 从氮化铝陶瓷的制备工艺 即粉末的合成 成形 烧结 个方面详细介绍了氮化铝陶瓷的研究状况 指出低 + , , ) 成本的粉末制备工艺和氮化铝陶瓷的复杂形状成形技术是目前很有价值的氮化铝陶瓷的研究方向- 关键词 氮化铝陶瓷 高热导率 制备工艺 + . . 中图法分类号 2 文献标识码 文章编号 + !1%# ! + +!’’#4!(5 $#’’#*’!4’’(4’5 /0 3 6 氮化铝 是一种综合性能优良新型陶瓷材 与几种陶瓷材料的性能比较 可以看出 与其它几种 $ * 378 料 具有优良的热传导性 可靠的电绝缘性 低的介 陶瓷材料相比较 氮化铝陶瓷综合性能优良 非常适 , , 电常数和介电损耗 无毒以及与硅相匹配的热膨胀 用于半导体基片和结构封装材料 在电子工业中的 , 系数等一系列优良特性 被认为是新一代高集程度 应用潜力非常巨大 另外 氮化铝还耐高温 耐腐 - 半导体基片和电子器件封装的理想材料 受到了国 蚀 不为多种熔融金属和融盐所浸润 因此 可用作 内外研究者的广泛重视9!#: 理论上 的热导率 高级耐火材料和坩埚材料 也可用作防腐蚀涂层 如 -