收缩%2f扩张型无阀微泵的流体动力学数值模拟及泵腔结构设计.pdfVIP

摘要 微电子机械系统(MEMS)的飞速发展令世人瞩目，而微流动系统作为MEMS 技术研究的～个主要方向，已展示了其广阔的市场应用前景。微泵是微流动系统 的重要执行器件，是微流动系统发展水平的重要标志，目前已研制出多种类型的 微型泵，而其中又以无阀型微泵因其结构简单等优点成为近年来的研究热点。 本文提出并介绍了一种收缩／扩张型无阀微泵的结构设计及其工作原理。基 于流体力学和薄板弯曲理论建立了收缩／扩张型无阀微泵的流体——振膜耦合物 理模型，得到了振膜形变的偏微分方程，以及收缩／扩张型无阀微泵的平均流量 表达式。然而求解上述解析方程不仅极其复杂，而且需要大量的计算资源，因此 我们采用有限元分析方法，选用ANSYS软件进行了CFD(计算流体力学)模拟。 首先，对收缩／扩张型无阀微泵泵腔结构中的最关键部分——收缩／扩张微流道进 行了仿真计算，研究了雷诺数、微流道扩张角度、微流道长度与最小特征宽度之 比等各个参数对微流道整流效率的影响；根据微流道部分的计算结果，综合考虑 各个参数的交叉影响，初步建立了收缩／扩张型无阀微泵的全模型，对泵腔的弯 道效应及缓冲腔耦合效应进行了仿真分析；综合对泵腔各结构单元的分析结果， 选择～组优化参数建立了二维收缩／扩张型无阀微泵全模型，并对单面