溶胶-凝胶工艺制备SiO2薄膜的结构控制和稳定性研究.pdfVIP

第 卷 第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ! ! #$%!’$ ! ! ! 年 月 ! ())* +,-+ ./012 34512 4’6 .427,831 914:5 4; ())* ! ! 文章编号! # !))!=?(( ())*)=!?)(=)@ ! 溶胶 凝胶工艺制备 薄膜的 ! #$ % 结构控制和稳定性研究 肖轶群! 谢志勇! 沈 军! 周 斌! 吴广明 ! ! ! ! ! ! 同济大学 波耳固体物理研究所!上海 # ()))A( 摘 要! 采用溶胶 凝胶工艺在酸性$碱性和碱%酸两步催化条件下制备纳米多孔结构的 薄膜使 = 5B/ ! ! ! ! ( 用透射电子显微镜 #$激光粒子分析仪测试了溶胶的微观结构和颗粒分布’使用反射式扫描椭偏仪$扫描 71: 电子显微镜 #$原子力显微镜 #测试了薄膜的光学性能和微观形貌结果表明(通过改变溶胶 凝胶 51: 4C: = 过程中的催化条件可控制薄膜微观结构和光学性能溶胶在长期存贮期间符合镀膜的稳定性要求 关键词! 溶胶 凝胶’ 二氧化硅薄膜’ 稳定性’ 颗粒度 = ! ! ! ! ! ! 中图分类号! / 文献标识码! 4 ! ! ! ! ! ! ! ! 溶胶 凝胶法 #制备光学薄膜是一种新兴的镀膜工艺它具有薄膜微结构可控$折射率可调$激光 = 5$%=-D% !! 损伤阈值高$成本低廉$操作简便等优点采用溶胶 凝胶工艺制备的纳米颗粒 薄膜为一种新型的光学薄 = 5B/ ( 膜材料!具有极佳的抗激光损伤性能!在不同的催化条件下表现出不同的光学性能!近年来被广泛地应用于强 激光系统中的光学元件中!成为研究的热点之一 溶胶 凝胶过程以醇盐作为前驱体!加水发生水解$缩聚反应!生成连续的凝胶网络它经历单体聚合形成 = !! 颗粒$颗粒长大$颗