溶胶-凝胶法在3D-SiC陶瓷表面浸涂Al2O3薄膜的研究.pdfVIP

·48 · 材料导报：研究篇 2009年 11月(下)第23卷第 11期 溶胶一凝胶法在 3D-SiC陶瓷表面浸涂Al2o3薄膜的研究 闫海乐，茹红强，喻 亮，里景阳，魏文韬，岳新艳 (东北大学材料与冶金学院材料各向异性与织构教育部重点实验室，沈阳 110OO4) 摘要 以无机盐Al(NO3)s·9H2O为先驱体、水为溶剂，加入不同浓度的胶溶剂 HN()3，采用溶胶一凝胶 (Sol- ge1)法制备了勃姆石 (AlOOH)溶胶。分别以溶液下降法和真空浸渍法在三维网络碳化硅陶瓷骨架 (3I)-SiC)表面 浸涂 AlOOH溶胶，采用不同烧结制度在3D-SiC表面生成了Al2()3薄膜。采用x射线衍射仪(XRD)、红外光谱仪 (IR)和扫描电子显微镜(SEM)分析 了薄膜的物相和显微结构，并检测了薄膜的抗热震性。结果表明，采用真空浸溃 法在3D-SiC表面浸涂加入浓度0．22mol／LHN03制备的 Al00H溶胶能烧结形成致密平整的 203薄膜。升高 烧结温度，AJ2 晶粒长大，900℃时薄膜最致密且能观测到玻璃态显微结构。薄膜的抗热震性随烧结温度升高而提高。 关键词 溶胶一凝胶法 真空浸渍法 z()3薄膜 三维网络碳化硅 抗热震性 ResearchofAI2o3Film ontheSurfaceof3D-SiC CeramicsbySol—gelM ethod YAN Haile，RU Hongqiang，YULiang，LIJingyang，WEIWentao，YUEXinyan (KeyLaboratoryforAnisotropyandTextureofMaterialsoftheMinistryofEducation，SchoolofMaterials Metallurgy， NortheasternUniversity，Shenyang110004) Abstract ThepreparationprocessofA1203thinfilm isrepresentedbythesobgelmethod，inwhichA1(NO3)3 · 9HzO isusedasprecusor，waterandHNO3assolventandpeptizingagent，respectively．Dip-coatingandvacuum im— pregnationmethodsareUSedtOcoaty-AlOOH SOIsolutiononthree-dimensionalsiliconcarbidesinteredatdifferent temperaturetoforrnA12O3thinfilm．X-raydiffraction(XRD)，infraredspectrometry(IR)，scanningelectronicmicro— scope(SEM)areusedtostudythemicrostructureandphaseconstitutionofthefilm．Theinvestigationclearlyshows thatthethinfilm whichpreparedfrom 7-A1OOH solsolutionadded0．22mol／LHNOswithvacuum impregnation method，iscoatedonthree-dimensionalsiliconcarbideperfectly．ThegrainofA12Oaincreaseswiththesinteringtern— peratureincraesing．Thethinfilm isfulldensityat9oooc，andtheglassmicrostructureisobserved．Thethermal shockresistanceoftheAlz03thinfilm incraeseswiththesinteringtemperatureincraesing． Keywolds So l—gelmethod，vacuum impregnationm