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第26卷第3期 机 电 工 程 V01．26 NO．3 2009年 3月 Mechanical ElectricalEngineeringMagazine Mar．20O9 基于机器视觉的陶瓷基板检测系统 杨立娜 ，单越康 (1．嘉兴学 院 机电T程学 院，浙江 嘉兴 314001；2．中国计量学 院 机 电1二程学 院，浙江 杭州 310018) 摘 要 ：为了设计陶瓷基板视觉检测 系统 ，首 先采 用互补金属一氧化物半导体 (CMOS)图像传感器采集 陶瓷基板的图像信号，通过光学成像和照明系统优化设计来提 高像质，然后运用图像预处理和亚像素算 法来提 高边缘的检测精度，最后建立并分析 了机器视觉检测系统尺寸及形位误差数学模型 ，实现 了对陶 瓷基板长度 、宽度参数的测量。实验结果表明，该系统较好地提 高了视觉检测系统的精度，并得到 了较 为准确 的结果。 关键词 ：机器视 觉；陶瓷基板 ；互补金属一氧化物半导体 ；亚像素算法 中图分类号 ：TP391 文献标识码 ：A 文章编号 ：1001—4551(2009)03—0050—03 Ceramicsubstrate’Sdetection system based onmachinevision YANG Lina ．SHAN Yue．kang ‘ (1．CollegeofMechanical ElectricalEngineering，JiaxingUniversity，Jiaxing314001，China； 2．CollegeofMechanicalElectricalEngineering．ChinaJiliangUniversity，Hangzhou310018，China) Abstract：Ainfingatdesigningceramicsubstrate’Svisualdetection system ，theceramicsubstrate’Simagewasgatheredbycom— plementarymetal—oxidesemiconductor(CMOS)．Thequalityofimagewasimprovedbyopticalimagingandlightingsystem．The precision ofedgedetectionwasimprovedbyimagepreprocessingand sub—pixe1．Themathematicalmodelingofdimensionaland geometricerrorwasdeveloped．Theceramicsubstrate’Slengthandwidthwereacquired．Theexperimentresultsindicatethatthe precision ofvision detectionsystem isincreased，andmeasuringresultsofthesystem aresatisfactory． Keywords：machinevision；ceranlicsubstrates；complmnentarymetal—oxidesemiconductor(CMOS)；sub—pixel 定位机构调整基板位置 ，使基板定位于摄像机的检测 0 引 言 区域 中。高亮度、高均匀度 的照明光源 (4)—— 照明 随着集成电路的飞速发展 ，对电子封装提出了更 被测基板 ，以提高摄像机 的成像质量。被测基板通过 高的要求 。其 中之一就是采用高性能的封装基板一陶 高分辨率 、高精度的数字 CMOS的TV物镜 (2)成清晰 瓷基板 ，它对尺寸精度与形位误差的