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第38卷 第 6期 人 工 晶 体 学 报 V0l_38 No．6 2009年 12月 JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS December．2009 以硅纳米孑L柱阵列为模板制备金纳米薄膜 富笑男 ，符建华 ，李 坤 ，罗艳伟 ，李新建 (1．河南工业大学理学院，郑州 450001；2．郑州大学物理系材料物理教育部重点实验室，郑州450052) 摘要：采用浸渍技术 ，分别以新鲜和老化两组硅纳米孔柱阵列 (Si—NPA)衬底为模板制备了不同形貌特征的Au／Si— NPA。结果表明：造成两组衬底上形成的Au／Si—NPA形貌上的巨大差异主要是由于两组Si—NPA衬底表面氧含量的 分布不同所致。进一步分析发现，Si—NPA在Au／Si—NPA的形成过程中既起到了模板作用，又起到了还原的双重作 用。由于Si-NPA具有规则的阵列结构，从而使得金在Si—NPA表面上的沉积速率产生选择性，最终可以形成准周期 的、规则的金纳米复合薄膜。 关键词：硅纳米孔柱阵列 ；模板；选择沉积；金纳米复合薄膜 中图分类号：0484 文献标识码：A 文章编号：1000—985X(2009)06—1467-05 Preparation ofAuNanometerThinFilm Using SiliconNanoporousArrayasTemplate FUXiao—nan，FUJian—hua，LIKun，LUOran．wei，LIXin-fian (1．CollegeofScience，HenanUniversityofTechnology，Zhengzhou450001，China； 2．KeyLaboratoryofMaterialsPhysics，MinistryofEducation，DepartmentofPhysics，ZhengzhouUniversity，Zhengzhou450052，China) (Received19January2009，accepted25May2009) Abstract：The Au／Si—NPA samples with differentmorphologies were fabricated experimentally by immersiontechniqueusingfreshandagedsiliconnanoporouspillararray(si—NPA)substratesastemplate． Theresultsshow thatthedifferencesbetweenmoprhologiesoftheAu／Si·NPAswhichwerepreparedO13two kindsofsubstratesareduetothedifferencesofoxygenquantitiesdistributingonthesurfaceofthesi—NPA substrates．Th efurtherstudiesshow thatthesi—NPA presenttwofunctionalitiesduringfabricatingofthe Au／Si—NPA．Oneisasthereductantandanotherthetemplate．Th eSi—NPA regulra arraystructureleadsto thevelocitydependenceofAudepositiononthelocal geometricalfeaturesoftheSi—NPA surface．Finally， thequasi—periodical，reug larAunanocompositethinfilm hasbeenformed． Keywords：siliconnano