微结构功能表面的金刚石超精密加工仿真与试验.pdfVIP

第 45卷第 12期 机 械 工 程 学 报 VO1．45 NO．12 2009年 12月 JOURNALOFMECHANICALENGINEERING Dec． 2009 Dol：lO．3901／JM E．2009．12．173 微结构功能表面的金刚石超精密加工仿真与试验术 赵清亮 王义龙 于 光 杨元华 (哈尔滨工业大学机电工程学院 哈尔滨 150001) 摘要：为解决微结构功能表面的金刚石超精密加工过程中，难 以经济而灵活地预测表面质量及加工条件对加工表面质量的影 响的问题，以自行设计的带有快速伺服刀架的超精密机床为基础，采用Matlab／Simulink模块建立正弦波微结构功能表面金 刚石超精密加工过程的动态仿真模型。利用该模型，不仅可以预测加工表面质量，还可 以对加工条件如进给速度、主轴转速 对加工表面质量的影响进行仿真进而对加工条件进行优化。通过微结构功能表面的金刚石超精密切削加工验证试验，加工出 表面粗糙度约为45nm、形状精度约为0．65um 的正弦波微结构功能表面，试验结果表明，该模型的建立对于微结构功能表 面的金刚石超精密加工具有重要的指导意义 。 关键词：微结构表面 加工仿真 金刚石超精密加工 中图分类号：TG506．6 SimulationandTestUltra—precisionDiamondM achining of】VIicr0structure ZHAOQingliang WANGYilong YUGuang YANGYuanhua (SchoolofMechatronicsEngineering，HarbinInstituteofTechnology,Harbin150001) Abstract： Inorderto solvetheproblem ofdifficultprediction ofthemachined surNcequality andthe effectsofmachining conditionsoncuttingprocessinaneconomicalandflexiblewayinultra-precisiondiamondmachiningofmicrostructuredsurNce．A dynamicsimulationmodelforultra—precisiondiamondmachiningofsine—wavemicrostructureisestablished．Byusingthismodel， onecannotonlyestimatethesurNcetopographyandsurfacequaliyt butalsosimulatetheeffectofcuttingconditionssuchasthe feedrateandspindlespeedonthesurfacequaliyt．Thererificationtestoftheultra--precisiondiamondmachiningofsine-w·ave microstructureisconducted，andatypicalsine—wavemicrostructurewithaofrm accuracyof0．65 m andsur~ceroughnessof45nm ismanufac~red．Testresultsshow thattheestablishmentofthedynamicsimulationmodelhasimportantguidesignificancetoliae machiningofmicrostructures． Keywords：M icrostmcturesurface Machiningsimulation Ultra—precisiondiamondmachining 有很大的帮助。 0 前言 超精密车削加工表面形貌成形的建模与仿真 已有一些学者进行