椭圆偏振法研究B离子注入LiNbO3光波导的光学特性.pdfVIP

第 38卷 第 6期 人 工 晶 体 学 报 V01．38 No．6 2009年 l2月 JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS December．20o9 椭圆偏振法研究B离子注入 LiNbO3 光波导的光学特性 于晓红，连 洁，卢 霏，宋 平，高 尚 (山东大学信息科学与工程学院，济南 250100) 摘要：用椭圆偏振法研究了2．5MeVB离子注入后的铌酸锂晶体，建立四层模型，对反射式椭圆偏振测量得出的数 据进行反演拟合 ，得到了波导层厚度及0．3～0．8txm波段波导层和损伤层的双折射色散曲线 ，发现低剂量 B离子 注入铌酸锂形成了折射率下降的位垒，在晶体表面下2．0 m范围内得到了光波导结构。研究结果为以铌酸锂为 基础的光波导器件研发提供了重要信息。 关键词：光波导；椭圆偏振测量；离子注入；折射率 中图分类号：0734 文献标识码：A 文章编号：1000-985X(2009)06—1370-05 Studyon theOpticalPropertiesofB—implanted Lithium NiobateW aveguidewithEllipsometry YUXiao—hong，LIAN Jie，LUFei，SONG ，GAOShang (InstituteofInformationScienceandEngineering，ShandongUniverstiy，Jinan250100，China) (Received19January2009，accepted9May2009) Abstract：2．5 MeV B ion—implantedlithium niobatecrystalwasstudiedbyellipsometry method．Data rfom themeasurementwere inversed to fitamoderatefour—layermodelforthecrysta1．The depth of waveguidelayerandthererfactiveindexdispersionintherangeof0．3-0．8txm wereobtained．Barrierof reducedrerfactiveindexwasfound．Waveguidestructurewasgetrfom thecrystalsurfacetothedepthof 2．0 Ixm in the crysta1．Theresultsprovided importantinformation forthe fabrication ofwaveguide devices． Keywords：opticalwaveguide；ellipsometry ；ion—implanted；rerfactiveindex 1 引 言 随着信息技术和集成光学的发展，光波导这一重要结构器件也 日益成为研究热点。人们一直在探索有 效的方法来制备具有优 良陛质的光波导。迄今为止，人们已经利用离子注入技术在光学晶体、玻璃、半导体 以及有机聚合物等大量光学材料中形成了光波导结构。目前国际上多采用能量为几兆电子伏的离子注入到 光学材料 内，离子注入后在射程末端替代了部分晶格原子，造成部分晶格损伤，这一损伤将导致材料折射率 的变化。常见的位垒型光波导的形成机理是，离子注入末端的损伤层形成折射率下降的位垒，在晶体表面下 微米量级范围内光线发生全反射，这一层称为波导层 ¨。J。 收稿 日期 ：2~9-01．19；修订 日期：2009-05-09 作者简介：于晓红(1979一)，女 ，山东省人 ，硕士。E—mail：xhyu@sdu．edu．cn 通讯作者 ：连 洁，教授 。E—mail：lia