隧道显微镜微位移工作台的神经网络PID控制方法研究.pdfVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 １４ ３ 　 Ｖｏｌ．１４ Ｎｏ．３ 　 　 　　　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　　　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００６ ６ Ｊｕｎ．２００６ 　　 　　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００６０３０４２２０４ 　 扫描隧道显微镜微位移工作台的 神经网络ＰＩＤ控制方法研究 ， １２ １ １ １ １ 魏 强 ，张玉林 ，于欣蕾 ，郝慧娟 ，卢文娟 　 （ 山东大学 控制科学与工程学院 电子束研究所，山东 济南 ； １． ２５００６１ ２．泰山学院 物理系，山东 泰安 ２７１０２１） 摘要：提出了一种基于神经网络理论的微位移工作台控制方案。该工作台以压电陶瓷作为微位移驱动元件，对伺服电机 大位移进行位移补偿。分析了压电陶瓷微位移驱动器的原理，建立了工作台的数学模型。神经网络 ＰＩＤ控制器对工作 台进行闭环控制，利用 ＢＰ网络的自学习和自适应能力，实时调整网络加权值，改变 ＰＩＤ控制器的控制系数，减小工作台 的位移误差。采用专用的压电陶瓷驱动电源对工作台的位移进行了实验，相对于常规 ＰＩＤ控制器，微位移为 １１．４１ ｍ μ 时的响应时间从 缩短到 ，稳态位移误差从 减小到 ，工作台的稳定性和定位精度得以提高，改善了 １．５ｓ １ｓ ３．１３％ １．０５％ 扫描隧道显微镜的工作性能。 关 键 词：扫描隧道显微镜；精密工作台；神经网络； 控制；自适应控制 ＰＩＤ 　 　 中图分类号： ； 文献标识码： ＴＨ７４２．９ＴＨ７０３．６ Ａ 　　 犛狋狌犱 狅狀狀犲狌狉犪犾狀犲狋狑狅狉犽犘犐犇犮狅狀狋狉狅犾犳狅狉犿犻犮狉狅犱犻狊犾犪犮犲犿犲狀狋 狔 狆 狊狋犪犲狅犳犛犮犪狀狀犻狀 犜狌狀狀犲犾犻狀 犕犻犮狉狅狊犮狅犲 犵 犵 犵 狆 ， １２ １ １ １ １ ， ， ， ， ＷＥＩＱｉａ