阴极电弧沈积氮化铝钛∕氮化铬奈米多层薄膜之开发与应用.pdfVIP

科學與工程技術期刊 第一卷 第二期 民國九十四年 1 Journal of Science and Engineering Technology, Vol. 1, No. 2, pp. 1-6 (2005) 陰極電弧沈積氮化鋁鈦 ∕氮化鉻 奈米多層薄膜之開發與應用 汪大永 張銀祐 洪志穎 明道管理學院材料暨系統工程研究所 彰化縣埤頭鄉文化路 369號 摘 要 物理氣相沉積技術所製備之硬質薄膜在近十年來已經快速發展成為國內表面工程之主 流 ，商業化產品如氮化鈦 （TiN ）、氮化鉻（CrN ）及氮化鋁鈦 （TiAlN ）硬質薄膜已廣泛使用於 機械加工業 、半導體製程設備組件與汽車零件產業。奈米複合多層硬質鍍膜比起傳統硬質鍍膜 由於具備良好之耐磨耗與高溫化學穩定性，成為近年來學術研究與工業應用之熱門領域。在各 種真空離子鍍膜技術中 ，陰極電弧沈積 （cathodic arc evaporation, CAE ）技術具有高離化率、沈 積速度快 、可使用合金靶材等優點 ，近年來國內在此技術上已開發出相關系統硬體與商業化鍍 膜技術。本文中將介紹由本研究群開發之陰極電弧沈積系統製備具有奈米多層結構之氮化鋁鈦 ∕氮化鉻 （TiAlN/CrN ）薄膜 ，探討其微結構 、機械性質與工業應用 。 關鍵詞 ：硬質鍍膜 ，物理氣相沉積 ，陰極電弧沈積 Synthesis and Application of TiAlN/CrN Multilayered Coatings by a Cathodic Arc Deposition Process DA-YUNG WANG, YIN-YU CHANG and CHI-YUNG HUNG Institute of Materials and System Engineering, MingDao University 369 Wen-Hua Rd., Peetow, Changhua, Taiwan ABSTRACT Nanostructured coatings have attracted considerable attention as wear-protective coatings due to their outstanding properties relative to single-phase materials. Their increased hardness makes them interesting candidate materials for applications under extreme conditions. In addition to high hardness and low friction coefficients, other aspects such as thermal stability, coating toughness, and interface toughness are decisive parameters of protective coatings. The design of nanostructured coatings ma