高功率直流电弧等离子体喷射法制备的金刚石厚膜中黑色缺陷的研究.pdfVIP

第38卷 第6期 人 工 晶 体 学 报 V0l_38 No．6 2009年 12月 JOURNAL 0F SYNTHETIC CRYSn LS December，2009 高功率直流电弧等离子体喷射法制备的 金刚石厚膜中黑色缺陷的研究 姜春生，郭世斌，刘 政，唐伟忠，吕反修 (北京科技大学材料科学与工程学院，北京 100083) 摘要 ：借助激光标记的方法，对采用高功率直流电弧等离子体喷射法制备的金刚石膜中的黑色缺陷进行 了定点表 征。结合使用光学显微镜、激光扫描共焦显微镜、扫描电子显微镜、电子背散射衍射技术等多种表征方法，对同一 样品的特定微观标记区域进行了多角度的分析。实验结果表明：金刚石膜内部的黑色缺陷是一种存在于晶界处的 孔洞与质量较低的金刚石相的复合体 ，它的形成应与金刚石膜中某些晶界处的生长环境有关。 关键词：金刚石膜；黑色缺陷；激光标记；晶界 中图分类号：TB43 文献标识码：A 文章编号：1000-985X(2009)06—1349-06 Research onDarkFeaturesin DiamondFilmsProducedby DCArcPlasmaJetMethod JIANGChun—sheng，GUOShi—bin，LIUZheng，TANGWei—zhong，LVFan—xiu (SchoolofMaterialsScienceandEngineering，UniversityofScienceandTechnologyBeijing，Beijing100083，China) (Received19January2009，accepted27June2009) Abstract：DarkfeaturesindiamondfilmspreparedbyDCarcplasmajetmethodwereinvestigatedbya lasermarkingprocessand fixed-pointcharacterization． Opticalmicroscopy，laserconfocalscanning microscopy，scanningelectronmicroscopyandelectronbackscatteringdiffractionmethodswereemployed toanalyzethedefectsatthesamepoint．Theresultsindicatedthatthedarkfeaturesweresuchakindof defectsthatembodyporesandpoorqualitydiamondphaselocatedatgrainboundariesofdiamondfilms． Theformationofthedefectsisrelatedwiththegrowthenvironmentofthediamondfilmsatspecificgrain bOUndaries． Keywords：diamondfilm ；darkfeature；lasermark；grainboundary 1 引 言 金刚石拥有优异的物理、化学性能，是一种可在各种极端条件下使用的多功能材料，其潜在的应用领域 包括：高能粒子探测器，红外、微波、强激光窗口，超薄x射线窗口 等。随着各种等离子体化学气相沉积 方法制备金刚石膜技术的逐渐成熟，金刚石膜材料已经逐渐具备了获得广泛应用的可能性 。 在利用透射光光学显微镜对以多晶形态存在的金刚石膜进行观察时，经常会发现其含有大量黑色缺 收稿 日期：2009-01-19；修订 日期：2009-06-27 基金项目：国家 自然科学基金(No 作者简介：姜春生 (1979一)，男 ，吉林省人，博士。E—m