金刚石膜的微结构研究.pdfVIP

2009年 12月 廊坊师范学院学报 (自然科学版) Dec．2009 第9卷第6期 JournalofLangfangTeachersCollege(NaturnalScienceEdition) V01．9No．6 金刚石膜的微结构研究 齐海东 么艳萍 王春武 姜志刚 (1．吉林师范大学，吉林 四平 136000；2．吉林大学超硬材料国家重点实验室，吉林 长春 130012) 摘【 要】 金刚石特殊的晶体结构决定其在很多方面具有优异的性质，金刚石膜的截面特性在一定程度上反映了 整个沉积过程中金刚石膜生长的一些规律。文章通过研究金刚石膜截面特点来分析金刚石膜生长的规律 ，进而总 结出制备高品质金刚石膜的方法。 【关键词】 金刚石膜；结构；性质 StudiesofM iamondFilm FineStructure QIHai-dong YA0Yan-ping WANGChun-Wtt JIANGZhi-gang A【bstract】 Thepe