the场致发射中金刚石与金属的热粘接技术研究guidedownload.pdfVIP

第 卷第 期 ! # ’! ’# $% (% 年 月 )* # +,-+ ./0-0(1,+ 21(1,+ 345 )* 6666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 场致发射中金刚石与金属的热粘接技术研究 *7) ) ) ! 王雪文 张志勇 罗 萌 张焕文 中国科学院西安光学精密机械研究所 西安 8* 7 9*:; 西北大学电子科学系 西安 8) 7 9*:= 8!深圳大学光电子所 深圳 7 #*;: 摘 要 以分析市场对显示器件的需求为基础 为了寻找适合场致发射的最佳材料 对金刚石 7 7 粉的晶体结构 颗粒形貌和尺寸进行了分析 得知其微观形貌正好满足场致发射的理论要求 7 ’ 由于制备大面积纳米晶体金刚石薄膜材料的周期很长 且晶体金刚石的电阻率很大并很难掺 7 入杂质 我们选用金刚石纳米粉和能够适合大面积 大批量生产的热粘工艺 从实验上研究并 7 7 确定了金刚石与金属热粘工艺的可行性 为场致发射器件的研制提供了可靠的实验依据 7 ’ 关键词 场致发射 金刚石粉 热粘接技术 ? ? @ 引言 随着电子与信息科学的飞速发展 电子显示 的工艺很复杂 成本高 使其应用受到限制 迫使 7 7 7 7 器件显得愈加重要 目前主要的显示器件有 寻找新的具有优异电子发射性能 功函数低的材 ’ A 和场致发射器件 料 由于金刚石的耐磨性好 热膨胀系数很低 热 8 ’ ,B- C,D CED .D. FED 等 其中除了 外都属于平板显示器件 虽然 导率很高 且具有很小的或负的电子亲和势与低 7 ,B- ’ 7 以其全色化 高亮度 高对比度和价格低等 的功函数等特点 被普遍认为是一种出色的场致 ,B-