高分辨X射线衍射法研究碳化硅单晶片中的多型结构.pdfVIP

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2017-09-02 发布于重庆
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高分辨X射线衍射法研究碳化硅单晶片中的多型结构.pdf

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　第 33 卷第 6 期　　　　　　　　　人　工　晶　体　学　报　　　　　　　　　　　 Vol. 33 　 6 No. 　 2004 年 12 月　　　　　　　　　　 JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS　　　　　　　　　　　　December ,2004 　高分辨 X 射线衍射法研究碳化硅单晶片中的多型结构董　捷 , 胡小波, 徐现刚 , 王继扬, 韩荣江 , 李现祥 ( 山东大学晶体材料国家重点实验室,济南 250100) 摘要 :我们采用高分辨 X 射线衍射法对 SiC 单晶片中的多型结构进行了研究 ,研究发现在以 4HSiC 为籽晶的晶体生长过程中 ,4HSiC 、6HSiC 、15RSiC 出现两相共存或三相共存现象。在单相、两相或三相共存区 ,X 射线摇摆曲线具有明显不同的特征。根据多型结构 ,可以对摇摆曲线中的衍射峰进行鉴定。关键词 :碳化硅 ;多型 ;高分辨 X 射线衍射仪 ;摇摆曲线 ( ) 中图分类号:O722 　　　　文献标识码 :A 　　　文章编号 :1000985X 2004 Investigation on the Polytype Structure of SiC Crystal Slice by High Resolution Xray Diffractometry DONG Jie , HU Xiaobo , XU Xiangang , WANGJiyang , HAN Rongjiang , LI Xianxiang ( State Key Laboratory of Crystal Materials , Shandong University , Jinan 250100 ,China) ( ) Received 9 January 2004 Abstract : The polytype structure of SiC single crystal slice was investigated by high resolution Xray diffractometry. We discovered that there are two or three phase existence of 4HSiC ,6HSiC ,15RSiC in the process of the growth of 4H SiC seed at a definite condition. At different regions the rocking curves have remarkably different features. Base on the polytype structures of S