表面光电压谱及其检测技术实验.pdfVIP

第 29卷 第 l2期 物 理 实 验 V01．29 No．12 2009年 l2月 PHYSICSEXPERIM ENTATION Dec．。2009 表面光电压谱及其检测技术实验 刘向阳，王 蓓 ，郑海务，黄明举，顾玉宗 实 验 教 学 (河南大学 物理与电子学院，河南 开封 475004) 摘 要 ：利用锁相放大器、单色仪、xe灯光源等搭建 了表面光 电压谱检测仪．基于表面光 电压谱技术 的原理，并借 助场诱导表面光电压谱测定了半导体材料 的光伏响应、导 电类型、能带隙和表面电荷分布． 关键词 ：半导体表 (界)面；光电性质 ；表面光 电压谱 中图分类号：TN304 文献标识码 ：A 文章编号 ：1005—4642(2009)12—0001—04 光学不透明样品． 1 引 言 2)表面光电压谱所检测的信息主要是反映样 表面光电压谱及其检测技术在分析半导体材 品表层 (一般是几十到几百纳米)的性质，因此不 料表(界)面的光生电荷跃迁和转移过程等方面具 受基底或本体 的影响，这对光敏表面的性质及界 有独特的优越性．早在 1876年w ．G．Adams就 面电子转移过程的分析与研究非常有利． 发现了固体表面的光伏效应，由于 固体表面光伏 3)由于表面光电压谱的原理是基于检测由入 效应的研究 已经从 由带隙光照下的简单测试发展 射光诱导的表面电荷变化情况，因而其具有较高 成为一种被测物理量随光子能量变化的光谱检测 的灵敏度，一般要高于 x射线光电子能谱或 Au— 技术¨～]，这种技术就称为表面光伏技术或表面光 ger电子能谱等标准光谱或能谱几个数量级． 电压谱．基于表面光电压谱技术的原理 ，并借助 从 目前检测的技术与水平来说 ，影响样品光 于场诱导表面光电压谱可以用来测定半导体材料 伏效应的因素主要有 ：样品吸收特性 (消光系数 、 的光伏响应情况 、导 电类型、半导体能带隙，表面 跃迁属性等)、样品内阻、样品粒径、调制频率 、环 电荷分布等 ]，该技术是分析半导体体相及纳米 境因素 、外场、电极、相位等． 尺寸材料的光电特性 、实现半导体谱带解释的重 2．2 系统结构 要手段 ，并且为研究复合体系光致表 (界)面电荷 图1是表面光电压谱测试系统(稳态)的结构 转移机制提供了可行性方法_6]．为了在近代物理 示意图，整个系统由3部分组成：第一部分为光源 实验教学中加大创新能力 、创新意识 以及综合实 部分；第二部分为信号采集部分，也是测试系统的 验素质的培养 ，并把科研成果积极转化为新实验 项 目，我们把表面光电压谱引入到本科实验教学 中，依托光伏检测新技术搭建 了本科教学创新实 验平台． 2 表面光 电压谱特性与结构 2．1 系统特点 1)表面光电压谱是一种作用光谱，可以在不 污染样品、不破坏样品形貌的条件下直接进行测 图1 表面光电压谱仪 (稳态)结构示意图 试 ，也可以测量那些在透射光谱仪上难以测试的 收稿 日期 ：2009—09—01；修 改日期 ：2009—10—21 资助项 目：教育部世行贷款 zl世纪初高等教育教学改革项 目(No．12831302012)；2006年度 中央与地方共建实验室共 建专项资金项 目(No．0610003)；河南大学 2008年度教学