高灵敏度阵列气敏传感器制备与气敏特性分析.pptVIP

ZnO气敏传感器V-G特性 TiO2气敏传感器V-G特性 工作总结 根据半导体工艺以及相关技术，结合先进的测试方法和理论分析，建立智能化识别模式使之适应复杂环境中气体的检测，实现高精度、低功耗和集成化气体传感器阵列结构和不同选择性的气敏薄膜的制备。 提出项目创新点 1、提出高灵敏度传感器阵列设计与制备，以实现复杂成分气体的检测。 2、利用半导体工艺等技术，在本征硅片上阵列结构电极和纳米气敏薄膜，有效提高气体测量的准确性、响应速度和灵敏度。 3、建立智能化的识别模式使之适应复杂环境中混合气体种类和含量测量。 后期目标 本项目初步得出阵列化的气敏传感器,能够对混合气体有良好的选择性。但是还存在一些不足，为了能够更有效更方便更准确的识别混合气体，在后续工作中我们准备在同一基底上阵列更多的气敏传感器，对其进行更加完善的测试。构建复式图，对比数据库相关信息得到更准确的信息。 石墨烯 本设计结合高性能气体传感器发展的需要和最新的研究成果，通过阵列结构、气敏薄膜和识别模式的不断完善，可实现国防、工业及日常生活发展对选择性强和测量精度高的新型气体传感器需求，对提高国民经济有很大的应用价值，具有很大的现实意义。 University students wishing to learn a happy life * * * * * “挑战杯”西安邮电大学 答辩人：杨锐强、卫怡、康颖 2