低温烧结单相碲酸锂微波介质陶瓷的研究.pdfVIP

2006年中国电子学会第十四届电子元件学术年会论文集 低温烧结单相碲酸锂微波介质陶瓷的研究2 杨正文 王悦辉 白洋 周济。 (清华大学精细工艺与新型陶瓷国家重点实验室北京 100084) 摘要：本文采用固相法合成了碲酸锂(Li．TeO，)，使用XRD，SEM，热膨胀等对其进行了测试． 热膨胀实验证实：碲酸锂在950C左右成瓷．在950C把碲酸锂烧结成瓷，并测试碲酸锂陶瓷的微 研究表明碲酸锂陶瓷的烧结温度较低，是一种有望与银电极共烧的微波介质陶瓷材料． 关键词：固相法。碲酸锂；微波介质陶瓷 1． 引言 者多种功能的陶瓷。它不仅可以用作微波电路中的绝缘基板材料，也是制造微波介质滤波器和 谐振器的关键材料。微波介质陶瓷是近20年来迅速发展起来的一类新型功能陶瓷，他具有低 微波损耗，高介电常数和小的频率温度系数等特点，已广泛应用于微波和移动通信领域。从已 实用化和正在研发的材料体系来看，中端材料(4—8G)的技术与工艺已相当成熟，而高端( 8G)和低端材料(0．8-4G)，则无论材料类型还是工艺技术均处于发展之中．其中，低端材料主要 用于民用移动通信系统，高端材料用于卫星直播等微波通信系统。随着卫星通信向高频方向的 发展，高Q值材料将是微波材料发展的一个重要趋势。与此同时，微波器件的小型化，片式化 和集成化也是未来发展的方向。然而，目前，高Q值微波材料主要集中与复合钙钛矿结构体系 以上。这些材料在使用时，对内置电极的要求很高，一般用Pt—Pd—Au合金或Pd电极，价格昂 贵。为了降低成本，同时又满足微波电路的高集成化，小型化的要求。开发能在低于950C或 更低的温度下烧结，保证银电极能与陶瓷共存的新材料已经成为国内外研发的热点。碲酸盐陶 瓷由于其烧结温度低，引起了很多学者的研究兴趣，目前对碲酸盐的研究主要集中在碲酸钡H1， 碲酸铋啼1，碲酸钛∞1和碲酸钙H1四种体系上。目前，碲酸锂陶瓷还没有人研究，本文在950。C 烧结了碲酸锂陶瓷，并测试了碲酸锂陶瓷的微波介电性能，研究表明碲酸锂陶瓷的烧结温度较 低，是一种有望与银电极共烧的微波介质陶瓷材料。 2．实验与测试 2．1样品的制备 采用二氧化碲，碳酸锂原料，按化学计量比称取二氧化碲和碳酸锂，将二氧化碲和碳酸锂 放在球磨罐中，以无水乙醇为介质球磨24h。采用二步法烧结碲酸锂粉体，即将二氧化碲和碳 锂粉体压制称陶瓷生片，在950‘C烧结8h样品随炉冷却到室温。 2．2样品的测试 通讯联系人：周济．zhouji@mail．tsinghua．edu．cn ．．191． 2006年中国电子学会第十四届电子元件学术年会论文集 取煅烧后的样品在XRD(Rigaku 平板谐振腔方法，在HP8720ES网络分析仪上测试了碲酸锂陶瓷的微波介电性能。 3．结果和讨论 图l是使用二步法烧结的碲酸锂粉体和950‘C烧结后的碲酸锂陶瓷的XRD图谱， 从图中可以看出采用二步法烧结的样品是纯的碲酸锂。在二步法中，先在650C烧结lOh 是为了使Te02充分的氧化。950C样品8h后，样品的衍射峰没有发生变化，表明碲酸锂 在950℃没有发生分解。 为了确定碲酸锂成瓷的最佳温度，对碲酸锂做了热膨胀实验。图2是碲酸锂的热收缩曲线， 从图中可以看出碲酸锂的最佳成瓷温度是950℃左右。 I．九．』凡I．．一．．．．肌1．。． ．~一．～．．^．．．叟 ．。． 《Lk．． ^。．瓜一一 一．。a 10 20 30 40 50 60 70 80 20／(℃) 图1碲酸锂的XRD图谱 ’ a一碲酸锂粉体b一碲酸锂陶瓷 ℃已经成瓷。 采用平板谐振腔方法测试了碲酸锂陶瓷的微波介电性能。发现碲酸锂陶瓷介电常数为 10．57，Qf值为24780G