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多定子直线型超声电机的研究 多定子直线型超声电机的研究+ 黄国庆黄卫清赵淳生 (南京航空航天大学超声电机研究中心南京210016) 摘要直线型超声电机具有可以直接驱动、精度高、响应快等优点，在高精度工作台上应用 广泛。但其驱动力一般较小。为提高工作台的负载能力，本文提出一种多定子直线 型超声电机，样机由两个定子和一个动子(工作台)组成，定于是一个具有一阶纵振 和二阶弯振的兰杰文振子，双足驱动。作者首先讨论了该电机的驱动机理，指出为 了提高运动速度和输出力，两定子的两种振动模态的固有频率应尽可能一致，进一 步对定子的结构进行了设计，对压电陶瓷片的安放位置上对定子进行了研究，给出 了定子、动子、工作台一体化的设计方案。 关键词直线型超声电机；多定子；兰杰文振子；精密工作台 引 言 由于直线型超声电机具有体积小、反应快速、不受磁场干扰、定位精确、无需运动转换 机构，可以直接驱动等优点，近年来在半导体工业和精密仪器中越来越受到人们的青睐。 人们对直线型超声电机的研究始于20世纪80年代中期，最大输出力一般不超过10N。 为满足更大输出力的要求，90年代中期人们又开始着手对大推力直线型超声电机进行研 究，多定子(振子)直线型超声电机是其中的一个研究方向，在国外日本有学者做过相关的 研究…，国内华中理工大学也有报道【2J。多定子直线电机由于本身的结构与单定子超声 电机相比有较大的不同，使得其在设计、装配、工艺、驱动与控制等方面都有待作进一步的 研究工作。本文提出了一种新型的多定子直线型超声电机，并用于精密工作台的驱动。 1 国内外直线型嗣声电机的研究现状 J，如图1所示， 1994年，日本KenHiguchi研制了首台三振子行波直线型超声电机【l 该电机的振子采用直梁式行波型结构，横梁两端各有三个层叠压电陶瓷振子，分别用于激 振和吸振，三个振子沿圆柱筒的周向均布。次年他又研制了该电机的改进型，用相位不同 的电压进行激振使梳状直梁产生行波，而且用于激振的层叠压电陶瓷是通过压延工艺制 成，使得其性能得到很好的改善，只需通常电机1／5～1／10的激振电压。分别用聚酰亚胺 和聚四氟乙烯作摩擦材料进行实验研究，指出：聚酰亚胺于聚四氟乙烯具有更好的输出性 能，其最大输出力为16N，但效率不到1％。另外，他还制作了三振子和双振子“型直线 型电机，其中，双振子E型电机在预紧力为14．1N，驱动电压为10V的情况下，其输出力 为7N。在预紧力为8．6N，输入功率为11．2W，负载为3．5N时速度为40mm／s。 由于单一型超声波直线电机由弹簧施加预应力，振动体和移动体分离，故支撑结构 +国家自然科学基金资助项目(编，教育部留学回国人员科研启动基金。 ·285· 振动利用技术的若干研究与进展 压电陶瓷片 带槽圆柱筒 弦瀚螺栓 ≮岁 图1 Ken Higuchi研制的直线型超声电机 较复杂，加工难度较大，运行稳定性较差。为此，1998年，华中理工大学研制了一种双 型直线型超声电机[“，改进后的双z型结构集振动体和移动体于一身．并由磁场提供预 应力，采用12层的层叠压电陶瓷激振。实验显示：施加的激励电压幅值与压电体振幅及 与电机速度呈现良好的线性。 2 双定予纵弯复合直线型超声电机 2．1定子结构与材料选择 电机定子的结构如图2，是利用兰杰文振子的一阶纵振和二阶弯振来驱动的。其中 压紧螺栓，带有法兰，螺栓的直径为十12mm，长为59mm，压电陶瓷片外经为,}_24mm，驱动 脚为4x5×8—0，纵振和弯振压电陶瓷片对称布置，并通过法兰螺栓施加预应力，以提 高其振