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第19卷第5期 传感技术学报 V01．19No．5
2006年10月 CHINESEJOURNALOFSENSORSANDACTUATORS Oct．2006
Static ofStictionbetweenSurfacesundervanderWaalsForces
Study Rough
DING Zhen
Jian—ning，ZHANGJian’，YANG
Ping，LINGZhi—yong，FAN
(Center Scienceand
ofMicro／Nano Technology，JiangsuUniversity，ZhenjiangJiangsu212013，China)
Abstract：TheadhesionoftwosiliconsurfaceswerestudiedundervanderWaalsforceswhenothersurface
forces
wereeliminatedsome surfaceswerecoatedwith
by techniques．The low-surface-energy
OTSmolecularfilmstoremove forcesandwere toeliminate
capillary electricallygrounded
forcebetween theactualself-affinefractalsurfacescontactmodeloftwo sur—
them．Considering rough
faces，theadhesionbetweentwosurfacesundervanderWaalsforceswerecalculatedafteradhesion
energy
duetoelasticand effectsofsurface ontheadhesionener—
plasticdeformations．Additionally，theroughness
ofvanderWaalsforceswere
gY analyzed．
molecular derWaals
words：0TS films；van
Key forces；adhesion；stability；
EEACC：7230E
范德华力作用下粗糙表面静态粘附的研究
丁建宁，张 建”，杨 平，凌智勇，范 真
(江苏大学微纳米科学技术中心，江苏镇江212013)
摘 要：通过在硅微接触表面上涂覆低表面能的憎水性OTS膜以除去接触面间的表面张力，把两表面均接地以除去接触面
间的静电力，研究了仅有范德华力作用时硅微结构接触表面的粘附．根据实际粗糙表面凸峰自相似的高度分布，计算了发生
粘附后，微观接触表面产生弹性和塑性变形的两种情况下的范德华粘附能，分析了表面形貌对其影响．
关键词：OTS膜；范德华力；粘附；稳定性；
中图分类号：THll7 文献标识码：A
粘附现象是微器件失效的主要原因之一．国内 响将占主导地位，尤其当器件尺寸减小到纳米量级
外对粘附的机理研究表明，产生粘附的主要原因是
表面力的作用，如表面张力、静电力、范德华力 于理想光滑面接触，研究了范德华力作用下微悬臂
(vdw)、casimir力等[1‘5]．虽然接触面间的表
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